質量分析計及び質量分析方法
专利摘要:
ガス電子増幅イオン検出器を備える質量分析計を開示する。イオン検出器は、3段構造のガス電子増幅段GEM1、GEM2、GEM3を備え、対向電極(12)が第1の電子増幅段GEM1に隣接して配置される。 公开号:JP2011505656A 申请号:JP2010535454 申请日:2008-12-01 公开日:2011-02-24 发明作者:プリングル・スティーブン・デレク 申请人:マイクロマス・ユーケイ・リミテッドMicromass Uk Limited; IPC主号:H01J49-06
专利说明:
[0001] 本発明は、質量分析計又はイオン移動度分光計の検出システムで用いられるガス電子増幅イオン検出器に関する。本発明は、また、イオンの検出方法並びに質量分析方法に関する。] 背景技術 [0002] イオン化放射検出用のガス電子なだれ増幅器が知られており、ガス電子増幅(Gas Electron Multiplier:GEM)検出器とも称される。ガス電子増幅検出器は、マルチワイヤー比例計数管やマイクロパターン化検出器等の従来の検出器に比べて、大幅に改善されている。周知のガス電子増幅検出器の利点としては、さまざまな形状に成形可能であることが挙げられる。また、空間的情報が容易に得られ、複数段を積層することにより、ゲインを著しく増大させた低コストの検出器が製造可能である。] [0003] 周知のように、いわゆる3段GEM構成において、ガス電子増幅器が用いられている。中分解能(mm以下)での高エネルギー粒子放射検出および追跡を含む高エネルギー物理実験に検出器が利用されている。ガス電子増幅器は、さらに、リングイメージング・チェレンコフ(Ring Imaging Cherenkov:RICH)検出器等の単一光子イメージングにも用いられている。さらに、中分解能ベータ線、ガンマ線、X線、シンクロトロンおよび中性子イメージングにおけるガス電子増幅イオン検出器の使用も知られている。また、太陽ニュートリノおよびコヒーレントなニュートリノ散乱実験用の2相型高圧極低温検出器にも、ガス電子増幅器が用いられている。さらに、タイムプロジェクションチャンバ(Time Projection Chamber:TPC)でもガス電子増幅器が用いられている。] [0004] 低エネルギー正イオンはガス電子増幅デバイスへの入射口ではね返されて検出されないため、ガス電子増幅検出器は、低エネルギーイオンの検出には用いられてこなかった。機器分析において対象となる被分析物イオンの大部分は正電荷を持つため、低エネルギー正イオンが検出可能な被分析物イオンの分析および検出用の機器が望まれている。] [0005] 一様電場における気相イオンの微分型移動に基づき、低濃度の化学物質を検出および同定するイオン移動度分光計が知られている。イオン移動度分光計は、爆発物、薬物、化学兵器の現場検出にルーチンで用いられるツールとなっており、生物由来物質の分析、特に、プロテオミクスやメタボロミクスにおいて重要な役割を果たす研究ツールとして有用である。他にも、動作条件範囲内で動作可能な様々な形態のイオン移動度分光計が知られている。イオン移動度分光計は、大気圧から1ミリバールの何十分の一レベルまで広範囲な圧力レベルで用いられる場合がある。ファラデーカップ型又はファラデープレート型検出器は、比較的高い大気圧以下の圧力で動作可能なイオン検出器の一種であるため、イオン移動度分光計に組み込まれて検出器として用いられることが多い。これに対して、飛行時間型質量分析計で用いられるイオン検出器は高真空を必要とする。] [0006] イオン移動度分光計を質量分析計(MS)と接続して、まずイオンをイオン移動度にしたがって分類した後、質量分析計又は質量分析器により質量を分析および検出する構成が知られている。従来の質量分析計で通常用いられている検出システムは、単一イオンイベントを検出するために大きなゲインを有し、たとえば、10-5ミリバール以下の高真空(低圧)を必要とする。質量分析機器で用いられる周知のイオン検出器の例としては、電子増幅検出器(たとえば、多チャンネルプレートおよび単一チャンネル・チャネルトロン)や、シンチレーター又は蛍光物質と組み合わせた変換ダイノードや光子増倍管が挙げられる。] [0007] 質量分析機器で用いられる検出器は、単一のイオンを検出可能である。ただし、高圧でイオン移動度分光計と組み合わせて用いられる、又は、高真空状態で質量分析計に組み込まれて用いられるファラデーカップ型検出器は、遮断性の高い固定型又は静止型機器において、最低1000個のイオンを必要とする。携帯型又は可搬型の機器では、約104個以上のイオンが必要となる。これは、主に、高抵抗と関係する電子ノイズ、特に、ジョンソンノイズと、イオン信号を検出するためのノイズフリーの電子増幅器が存在しないことに起因している。] [0008] ファラデーカップ型検出器は、高抵抗であり、システム内のキャパシタンスが不可避であるために、比較的応答が遅い。] [0009] イオン移動度分光計又は質量分析計と共に利用可能なイオン検出器の改良が求められている。] [0010] 本発明の一態様は、質量分析計であって、ガス電子増幅イオン検出器を備える。] [0011] 質量分析計が、さらに、 (a)イオン検出器を(i)1000ミリバール未満の値、(ii)100ミリバール未満の値、(iii)10ミリバール未満の値、(iv)1ミリバール未満の値、(v)0.1ミリバール未満の値、(vi)0.01ミリバール未満の値、(vii)0.001ミリバール未満の値、(viii)0.0001ミリバール未満の値、(ix)0.00001ミリバール未満の値、からなる群から選択される圧力に維持する、及び/又は、 (b)イオン検出器を(i)1000ミリバールより大きい値、(ii)100ミリバールより大きい値、(iii)10ミリバールより大きい値、(iv)1ミリバールより大きい値、(v)0.1ミリバールより大きい値、(vi)0.01ミリバールより大きい値、(vii)0.001ミリバールより大きい値、(viii)0.0001ミリバールより大きい値、からなる群から選択される圧力における動作モードに維持する、及び/又は、 (c)イオン検出器を(i)0.0001から0.001ミリバールの範囲の値、(ii)0.001から0.01ミリバールの範囲の値、(iii)0.01から0.1ミリバールの範囲の値、(iv)0.1から1ミリバールの範囲の値、(v)1から10ミリバールの範囲の値、(vi)10から100ミリバールの範囲の値、(vii)100から1000ミリバールの範囲の値、からなる群から選択される圧力における動作モードに維持する、 ように配置および構成されるデバイスを備える構成が望ましい。] [0012] 望ましくは、イオン検出器が、(i)1eV未満の値、(ii)1から5eVの範囲の値、(iii)5から10eVの範囲の値、(iv)10から15eVの範囲の値、(v)15から20eVの範囲の値、(vi)20から25eVの範囲の値、(vii)25から30eVの範囲の値、(viii)30から35eVの範囲の値、(ix)35から40eVの範囲の値、(x)40から45eVの範囲の値、(xi)45から50eVの範囲の値、(xii)50から55eVの範囲の値、(xiii)55から60eVの範囲の値、(xiv)60から65eVの範囲の値、(xv)65から70eVの範囲の値、(xvi)70から75eVの範囲の値、(xvii)75から80eVの範囲の値、(xviii)80から85eVの範囲の値、(xix)85から90eVの範囲の値、(xx)90から95eVの範囲の値、(xxi)95から100eVの範囲の値、(xxii)100から105eVの範囲の値、(xxiii)105から110eVの範囲の値、(xxiv)110から115eVの範囲の値、(xxv)115から120eVの範囲の値、(xxvi)120から125eVの範囲の値、(xxvii)125から130eVの範囲の値、(xxviii)130から135eVの範囲の値、(xxix)135から140eVの範囲の値、(xxx)140から145eVの範囲の値、(xxxi)145から150eVの範囲の値、(xxxii)150から155eVの範囲の値、(xxxiii)155から160eVの範囲の値、(xxxiv)160から165eVの範囲の値、(xxxv)165から170eVの範囲の値、(xxxvi)170から175eVの範囲の値、(xxxvii)175から180eVの範囲の値、(xxxviii)180から185eVの範囲の値、(xxxix)185から190eVの範囲の値、(xl)190から195eVの範囲の値、(xli)195から200eVの範囲の値、(xlii)200eVより大きい値、からなる群から選択されるエネルギーを有するイオンを検出するように、配置および構成される。keVからMeVの範囲のエネルギーを有する粒子を検出可能に構成される従来の放射検出器と比べて、かなり低いレベルのエネルギーを検出可能なように構成されるイオン検出器が望ましい。] [0013] イオン検出器は、望ましくは、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段を備える。一実施形態において、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段の上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、又は、95から100%が、 (i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、 (ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、 第1の表面層又は第1の被膜を備える。] [0014] イオン検出器は、望ましくは、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段を備える。一実施形態において、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段の上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、又は、95から100%が、 (i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、 (ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、 第2の表面層又は第2の被膜を備える。] [0015] イオン検出器は、望ましくは、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段を備える。一実施形態において、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段の上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、又は、95から100%が、 (i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、 (ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、 第3の表面層又は第3の被膜を備える。] [0016] イオン検出器は、望ましくは、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段を備える。一実施形態において、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、又は、95から100%が、 (i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、 (ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、 第4の表面層又は第4の被膜を備える。] [0017] 第1の表面層又は第1の被膜、及び/又は、第2の表面層又は第2の被膜、及び/又は、第3の表面層又は第3の被膜、及び/又は、第4の表面層又は第4の被膜は、望ましくは、(i)ヨウ化セシウム(CsI)と、(ii)テルル化セシウム(CsTe)と、(iii)αCH:N、非晶質炭素、又は、ダイヤモンド状炭素(DLC)と、(iv)銅と、(v)アルミニウムと、(vi)酸化マグネシウム(MgO)と、(vii)フッ化マグネシウム(MgF2)と、(viii)タングステンと、からなる群から選択される。] [0018] 一実施形態において、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段は、望ましくは、(i)カプトン(RTM)と、(ii)ポリテトラフルオロエチレンと、(iii)セラミックと、(iv)ガラスと、(v)プラスチック材料と、(vi)絶縁材料と、(vii)ポリマーシートと、からなる群から選択される物質から形成される。各箔層を、プリント基板の製造に利用可能な同じ材料から、形成するようにしてもよい。] [0019] 一実施形態において、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段は、望ましくは、(i)1μm未満の値、(ii)1から5μmの範囲の値、(iii)5から10μmの範囲の値、(iv)10から15μmの範囲の値、(v)15から20μmの範囲の値、(vi)20から25μmの範囲の値、(vii)25から30μmの範囲の値、(viii)30から35μmの範囲の値、(ix)35から40μmの範囲の値、(x)40から45μmの範囲の値、(xi)45から50μmの範囲の値、(xii)50から55μmの範囲の値、(xiii)55から60μmの範囲の値、(xiv)60から65μmの範囲の値、(xv)65から70μmの範囲の値、(xvi)70から75μmの範囲の値、(xvii)75から80μmの範囲の値、(xviii)80から85μmの範囲の値、(xix)85から90μmの範囲の値、(xx)90から95μmの範囲の値、(xxi)95から100μmの範囲の値、(xxii)100から200μmの範囲の値、(xxiii)200から300μmの範囲の値、(xxiv)300から400μmの範囲の値、(xxv)400から500μmの範囲の値、(xxvi)500から600μmの範囲の値、(xxvii)600から700μmの範囲の値、(xxviii)700から800μmの範囲の値、(xxix)800から900μmの範囲の値、(xxx)900から1000μmの範囲の値、(xxxi)1から2mmの範囲の値、(xxxii)2から3mmの範囲の値、(xxxiii)3から4mmの範囲の値、(xxxiv)4から5mmの範囲の値、(xxxv)5mmより大きい値、からなる群から選択される厚みを有する。各箔層の好ましい厚みは約50μmであるが、ガス電子増幅段の少なくとも一段において、比較的厚い(たとえば、1mmの厚みの)基板層を備えるような実施形態でもよい。] [0020] 一実施形態において、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面は、望ましくは、銅や他の金属又は導電性被膜又は層で被覆される。] [0021] 一実施形態において、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面は、望ましくは、(i)1μm未満の値、(ii)1から5μmの範囲の値、(iii)5から10μmの範囲の値、(iv)10から15μmの範囲の値、(v)15から20μmの範囲の値、(vi)20から25μmの範囲の値、(vii)25から30μmの範囲の値、(viii)30から35μmの範囲の値、(ix)35から40μmの範囲の値、(x)40から45μmの範囲の値、(xi)45から50μmの範囲の値、(xii)50μmより大きい値、からなる群から選択される厚みを有する銅や他の金属又は導電性被膜で被覆される。] [0022] 一実施形態において、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段は、望ましくは、(i)1μm未満の値、(ii)1から5μmの範囲の値、(iii)5から10μmの範囲の値、(iv)10から15μmの範囲の値、(v)15から20μmの範囲の値、(vi)20から25μmの範囲の値、(vii)25から30μmの範囲の値、(viii)30から35μmの範囲の値、(ix)35から40μmの範囲の値、(x)40から45μmの範囲の値、(xi)45から50μmの範囲の値、(xii)50から55μmの範囲の値、(xiii)55から60μmの範囲の値、(xiv)60から65μmの範囲の値、(xv)65から70μmの範囲の値、(xvi)70から75μmの範囲の値、(xvii)75から80μmの範囲の値、(xviii)80から85μmの範囲の値、(xix)85から90μmの範囲の値、(xx)90から95μmの範囲の値、(xxi)95から100μmの範囲の値、(xxii)100μmより大きい値、からなる群から選択される最大直径及び/又は最小直径を有する複数の孔を備える。] [0023] 第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段は、望ましくは、管状、円錐形、バイコニカル(双円錐形)、又は凹型の溝を有する複数の孔を備える。] [0024] 第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段は、望ましくは、(i)1μm未満の値、(ii)1から5μmの範囲の値、(iii)5から10μmの範囲の値、(iv)10から15μmの範囲の値、(v)15から20μmの範囲の値、(vi)20から25μmの範囲の値、(vii)25から30μmの範囲の値、(viii)30から35μmの範囲の値、(ix)35から40μmの範囲の値、(x)40から45μmの範囲の値、(xi)45から50μmの範囲の値、(xii)50から55μmの範囲の値、(xiii)55から60μmの範囲の値、(xiv)60から65μmの範囲の値、(xv)65から70μmの範囲の値、(xvi)70から75μmの範囲の値、(xvii)75から80μmの範囲の値、(xviii)80から85μmの範囲の値、(xix)85から90μmの範囲の値、(xx)90から95μmの範囲の値、(xxi)95から100μmの範囲の値、(xxii)100から110μmの範囲の値、(xxiii)110から120μmの範囲の値、(xxiv)120から130μmの範囲の値、(xxv)130から140μmの範囲の値、(xxvi)140から150μmの範囲の値、(xxvii)150から160μmの範囲の値、(xxviii)160から170μmの範囲の値、(xxix)170から180μmの範囲の値、(xxx)180から190μmの範囲の値、(xxxi)190から200μmの範囲の値、(xxxii)200μmより大きい値、からなる群から選択されるピッチを有する複数の孔を備える。] [0025] 第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段の上面と下面との間で、望ましくは、電圧又は電位差が保持される。ここで、電圧又は電位差は、望ましくは、(i)50Vより小さい値、(ii)50から100Vの範囲の値、(iii)100から150Vの範囲の値、(iv)150から200Vの範囲の値、(v)200から250Vの範囲の値、(vi)250から300Vの範囲の値、(vii)300から350Vの範囲の値、(viii)350から400Vの範囲の値、(ix)400から450Vの範囲の値、(x)450から500Vの範囲の値、(xi)500から550Vの範囲の値、(xii)550から600Vの範囲の値、(xiii)600から650Vの範囲の値、(xiv)650から700Vの範囲の値、(xv)700から750Vの範囲の値、(xvi)750から800Vの範囲の値、(xvii)800から850Vの範囲の値、(xviii)850から900Vの範囲の値、(xix)900から950Vの範囲の値、(xx)950から1000Vの範囲の値、(xxi)1000Vより大きい値、からなる群から選択される。] [0026] 第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段の上面と下面との間で、望ましくは、電圧又は電位差が保持される。ここで、電圧又は電位差は、望ましくは、(i)50Vより小さい値、(ii)50から100Vの範囲の値、(iii)100から150Vの範囲の値、(iv)150から200Vの範囲の値、(v)200から250Vの範囲の値、(vi)250から300Vの範囲の値、(vii)300から350Vの範囲の値、(viii)350から400Vの範囲の値、(ix)400から450Vの範囲の値、(x)450から500Vの範囲の値、(xi)500から550Vの範囲の値、(xii)550から600Vの範囲の値、(xiii)600から650Vの範囲の値、(xiv)650から700Vの範囲の値、(xv)700から750Vの範囲の値、(xvi)750から800Vの範囲の値、(xvii)800から850Vの範囲の値、(xviii)850から900Vの範囲の値、(xix)900から950Vの範囲の値、(xx)950から1000Vの範囲の値、(xxi)1000Vより大きい値、からなる群から選択される。] [0027] 第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段の上面と下面との間で、望ましくは、電圧又は電位差が保持される。ここで、電圧又は電位差は、望ましくは、(i)50Vより小さい値、(ii)50から100Vの範囲の値、(iii)100から150Vの範囲の値、(iv)150から200Vの範囲の値、(v)200から250Vの範囲の値、(vi)250から300Vの範囲の値、(vii)300から350Vの範囲の値、(viii)350から400Vの範囲の値、(ix)400から450Vの範囲の値、(x)450から500Vの範囲の値、(xi)500から550Vの範囲の値、(xii)550から600Vの範囲の値、(xiii)600から650Vの範囲の値、(xiv)650から700Vの範囲の値、(xv)700から750Vの範囲の値、(xvi)750から800Vの範囲の値、(xvii)800から850Vの範囲の値、(xviii)850から900Vの範囲の値、(xix)900から950Vの範囲の値、(xx)950から1000Vの範囲の値、(xxi)1000Vより大きい値、からなる群から選択される。] [0028] 第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段の上面と下面との間で、望ましくは、電圧又は電位差が保持される。ここで、電圧又は電位差は、望ましくは、(i)50Vより小さい値、(ii)50から100Vの範囲の値、(iii)100から150Vの範囲の値、(iv)150から200Vの範囲の値、(v)200から250Vの範囲の値、(vi)250から300Vの範囲の値、(vii)300から350Vの範囲の値、(viii)350から400Vの範囲の値、(ix)400から450Vの範囲の値、(x)450から500Vの範囲の値、(xi)500から550Vの範囲の値、(xii)550から600Vの範囲の値、(xiii)600から650Vの範囲の値、(xiv)650から700Vの範囲の値、(xv)700から750Vの範囲の値、(xvi)750から800Vの範囲の値、(xvii)800から850Vの範囲の値、(xviii)850から900Vの範囲の値、(xix)900から950Vの範囲の値、(xx)950から1000Vの範囲の値、(xxi)1000Vより大きい値、からなる群から選択される。] [0029] 第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段における孔内に、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段における孔内に、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段における孔内に、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段における孔内に電界が保持される構成が望ましい。ここで、電界は、望ましくは、(i)10kV/cmより小さい値、(ii)10から20kV/cmの範囲の値、(iii)20から30kV/cmの範囲の値、(iv)30から40kV/cmの範囲の値、(v)40から50kV/cmの範囲の値、(vi)50から60kV/cmの範囲の値、(vii)60から70kV/cmの範囲の値、(viii)70から80kV/cmの範囲の値、(ix)80から90kV/cmの範囲の値、(x)90から100kV/cmの範囲の値、(xi)100から150kV/cmの範囲の値、(xii)150から200kV/cmの範囲の値、(xiii)200から250kV/cmの範囲の値、(xiv)250から300kV/cmの範囲の値、(xv)300から350kV/cmの範囲の値、(xvi)350から400kV/cmの範囲の値、(xvii)400から450kV/cmの範囲の値、(xviii)450から500kV/cmの範囲の値、(xix)500kV/cmより大きい値、からなる群から選択される。] [0030] 第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段、及び/又は、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段、及び/又は、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段、及び/又は、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段の間の中心間距離が、望ましくは、(i)0.2mmより小さい値、(ii)0.2から0.4mmの範囲の値、(iii)0.4から0.6mmの範囲の値、(iv)0.6から0.8mmの範囲の値、(v)0.8から1.0mmの範囲の値、(vi)1.0から1.2mmの範囲の値、(vii)1.2から1.4mmの範囲の値、(viii)1.4から1.6mmの範囲の値、(ix)1.6から1.8mmの範囲の値、(x)1.8から2.0mmの範囲の値、(xi)2.0から2.2mmの範囲の値、(xii)2.2から2.4mmの範囲の値、(xiii)2.4から2.6mmの範囲の値、(xiv)2.6から2.8mmの範囲の値、(xv)2.8から3.0mmの範囲の値、(xvi)3.0から3.2mmの範囲の値、(xvii)3.2から3.4mmの範囲の値、(xviii)3.4から3.6mmの範囲の値、(xix)3.6から3.8mmの範囲の値、(xx)3.8から4.0mmの範囲の値、(xxi)4.0から4.2mmの範囲の値、(xxii)4.2から4.4mmの範囲の値、(xxiii)4.4から4.6mmの範囲の値、(xxiv)4.6から4.8mmの範囲の値、(xxv)4.8から5.0mmの範囲の値、(xxvi)5.0から6.0mmの範囲の値、(xxvii)6.0から7.0mmの範囲の値、(xxviii)7.0から8.0mmの範囲の値、(xxix)8.0から9.0mmの範囲の値、(xxx)9.0から10.0mmの範囲の値、(xxxi)10.0mmより大きい値、からなる群から選択される。] [0031] 第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段と、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段との間に電荷遮断メッシュ電極を備える構成が望ましい。] [0032] 第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段と、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段との間に電荷遮断メッシュ電極を備える構成が望ましい。] [0033] 第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段と、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段との間に電荷遮断メッシュ電極を備える構成が望ましい。] [0034] 第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に、一つ以上のアノード及び/又は一つ以上のカソードを備える構成が望ましい。] [0035] 第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に、一つ以上のアノード及び/又は一つ以上のカソードを備える構成が望ましい。] [0036] 第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に、一つ以上のアノード及び/又は一つ以上のカソードを備える構成が望ましい。] [0037] 第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に、一つ以上のアノード及び/又は一つ以上のカソードを備える構成が望ましい。] [0038] イオン検出器は、望ましくは、 (i)第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段に隣接する、及び/又は、向き合う、及び/又は、対向する、及び/又は、 (ii)イオン検出器のドリフト又は入力領域内である、及び/又は、 (iii)被分析物陽イオン(カチオン)を受け取り、二次電子及び/又は二次陰イオン(アニオン)及び/又は二次陽イオン(カチオン)を放出する、 ように構成される一つ以上の電極、対向電極、又はカソードを備える。] [0039] 一つ以上の電極、対向電極、又はカソードは、 (i)一つ以上の平坦電極、及び/又は、 (ii)一つ以上のグリッド電極又はメッシュ電極、及び/又は、 (iii)使用時にイオン又は被分析物カチオンが透過可能な一つ以上の孔を有する一つ以上の電極 を含む構成が望ましい。] [0040] 一実施形態において、イオンがグリッドカソード電極を透過する構成でもよい。] [0041] 一実施形態において、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードの上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、95から100%が、 (i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、 (ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、 表面層又は被覆を備える構成でもよい。] [0042] 表面被膜は、望ましくは、(i)ヨウ化セシウム(CsI)と、(ii)テルル化セシウム(CsTe)と、(iii)αCH:N、非晶質炭素、又は、ダイヤモンド状炭素(DLC)と、(iv)銅と、(v)アルミニウムと、(vi)酸化マグネシウム(MgO)と、(vii)フッ化マグネシウム(MgF2)と、(viii)タングステンと、からなる群から選択される。] [0043] 一実施形態において、 (i)一つ以上の電極、対向電極、又はカソードが、使用時に、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に対して、負電位に保たれる構成でもよい。及び/又は、 (ii)正電荷を持つ被分析物イオンが、使用時に、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段から離れる方向に加速され、かつ、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードに近付く方向に加速される構成でもよい。及び/又は、 (iii)正電荷を持つ被分析物イオンが、使用時に、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードの表面に激突して、二次陰イオン(アニオン)及び/又は二次陽イオン(カチオン)及び/又は二次電子を生成する構成でもよい。及び/又は、 (iv)二次陰イオン(アニオン)及び/又は二次陽イオン(カチオン)及び/又は二次電子の少なくとも一部が、望ましくは、使用時に、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段における一つ以上の孔を通って加速される。及び/又は、 (v)一つ以上の電極、対向電極、又はカソードから放出される二次陰イオン(アニオン)及び/又は二次陽イオン(カチオン)及び/又は二次電子の少なくとも一部が、望ましくは、使用時に、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段の表面に激突して、さらに電子を生成する。及び/又は、 (vi)負電荷を持つ被分析物イオンが、望ましくは、使用時に、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段における一つ以上の孔を通って加速される。及び/又は、 (vii)望ましくは、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段の上面及び/又は下面上に配置される一つ以上のアノードに電子を向かわせることにより、複数の電子及び/又は光子が生成される。及び/又は、 (viii)望ましくは、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段の上面及び/又は下面上に配置される一つ以上のアノードに電子を向かわせることにより、複数の電子及び/又は光子が生成される。及び/又は、 (ix)望ましくは、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段の上面及び/又は下面上に配置される一つ以上のアノードに電子を向かわせることにより、複数の電子及び/又は光子が生成される。及び/又は、 (x)望ましくは、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面上に配置される一つ以上のアノードに電子を向かわせることにより、複数の電子及び/又は光子が生成される。及び/又は、 (xi)第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段と、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段との間に位置する電荷遮断メッシュ電極を、電子なだれにより生成された光子が通過する構成も望ましい。及び/又は、 (xii)第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段と、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段との間に位置する電荷遮断メッシュ電極を、電子なだれにより生成された光子が通過する構成も望ましい。及び/又は、 (xiii)第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段と、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段との間に位置する電荷遮断メッシュ電極を、電子なだれにより生成された光子が通過する構成も望ましい。及び/又は、 (xiv)正電荷を持つ被分析物イオンが、望ましくは、使用時に、(i)1mm/μsより小さい値、(ii)1から5mm/μsの範囲の値、(iii)5から10mm/μsの範囲の値、(iv)10から15mm/μsの範囲の値、(v)15から20mm/μsの範囲の値、(vi)20から25mm/μsの範囲の値、(vii)25から30mm/μsの範囲の値、(viii)30から35mm/μsの範囲の値、(ix)35から40mm/μsの範囲の値、(x)40から45mm/μsの範囲の値、(xi)45から50mm/μsの範囲の値、(xii)50から55mm/μsの範囲の値、(xiii)55から60mm/μsの範囲の値、(xiv)60から65mm/μsの範囲の値、(xv)65から70mm/μsの範囲の値、(xvi)70から75mm/μsの範囲の値、(xvii)75から80mm/μsの範囲の値、(xviii)80から85mm/μsの範囲の値、(xix)85から90mm/μsの範囲の値、(xx)90から95mm/μsの範囲の値、(xxi)95から100mm/μsの範囲の値、(xxii)100mm/μsより大きい値、からなる群から選択される速度で、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードの表面に激突する。] [0044] イオン検出器は、望ましくは、さらに、 (i)一つ以上の読み出し電極、及び/又は、 (ii)一つ以上の光電子増倍管(PMT)、及び/又は、 (iii)一つ以上の電荷結合検出器(CCD) を備える。] [0045] 一つ以上の読み出し電極、及び/又は、一つ以上の光電子増倍管(PMT)、及び/又は、一つ以上の電荷結合検出器(CCD)が、最終段の箔層、基板、又はガス電子増幅段の下流に配置され、最終段の箔電極又はガス電子増幅段から放出される電子及び/又は光子を検出する構成が望ましい。また、一つ以上の読み出し電極、及び/又は、一つ以上の光電子増倍管(PMT)、及び/又は、一つ以上の電荷結合検出器(CCD)が、読み出しアノード及び/又は読み出し電子機器に接続される構成も望ましい。] [0046] 質量分析計は、望ましくは、さらに、 (a)イオン源であって、(i)エレクトロスプレーイオン化(Electrospray ionization:ESI)イオン源と、(ii)大気圧光イオン化(Atmospheric Pressure Photo Ionization:APPI)イオン源と、(iii)大気圧化学イオン化(Atmospheric Pressure Chemical Ionization:APCI)イオン源と、(iv)マトリックス支援レーザー脱離イオン化(Matrix Assisted Laser Desorption Ionization:MALDI)イオン源と、(v)レーザー脱離イオン化(Laser Desorption Ionization:LDI)イオン源と、(vi)大気圧イオン化(Atmospheric Pressure Ionization:API)イオン源と、(vii)シリコンを用いた脱離イオン化(Desorption Ionization on Silicon:DIOS)イオン源と、(viii)電子衝撃(Electron Impact:EI)イオン源と、(ix)化学イオン化(Chemical Ionization:CI)イオン源と、(x)電界イオン化(Field Ionization:FI)イオン源と、(xi)電界脱離(Field Desorption:FD)イオン源と、(xii)誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)イオン源と、(xiii)高速原子衝撃(Fast Atom Bombardment:FAB)イオン源と、(xiv)液体二次イオン質量分析(Liquid Secondary Ion Mass Spectrometry:LSIMS)イオン源と、(xv)脱離エレクトロスプレーイオン化(Desorption Electrospray Ionization:DESI)イオン源と、(xvi)ニッケル63放射性イオン源と、(xvii)大気圧マトリックス支援レーザー脱離イオン化イオン源と、(xviii)サーモスプレーイオン源と、(xix)大気圧サンプリング・グロー放電イオン化(Atmospheric Sampling Glow Discharge Ionization:ASGDI)イオン源と、(xx)グロー放電(Glow Discharge:GD)イオン源と、からなる群から選択されるイオン源、及び/又は、 (b)一つ以上の連続イオン源又はパルスイオン源、及び/又は、 (c)一つ以上のイオンガイド、及び/又は、 (d)一つ以上のイオン移動度分離装置及び/又は一つ以上の電界非対称性イオン移動度分光計装置、及び/又は、 (e)一つ以上のイオントラップあるいは一つ以上のイオン捕獲領域、及び/又は、 (f)一つ以上の衝突セル、フラグメンテーション(断片化)セル又は反応セルであって、(i)衝突誘起解離(Collisional Induced Dissociation:CID)フラグメンテーション装置と、(ii)表面誘起解離(Surface Induced Dissociation:SID)フラグメンテーション装置と、(iii)電子移動解離(Electron Transfer Dissociation:ETD)フラグメンテーション装置と、(iv)電子捕獲解離(Electron Capture Dissociation:ECD)フラグメンテーション装置と、(v)電子衝突又は電子衝撃解離フラグメンテーション装置と、(vi)光誘起解離(Photo Induced Dissociation:PID)フラグメンテーション装置と、(vii)レーザー誘起解離フラグメンテーション装置と、(viii)赤外線誘起解離装置と、(ix)紫外線誘起解離装置と、(x)ノズル・スキマー・インターフェース・フラグメンテーション装置と、(xi)インソースフラグメンテーション装置と、(xii)インソース衝突誘起解離フラグメンテーション装置と、(xiii)熱源又は温度源フラグメンテーション装置と、(xiv)電場誘起フラグメンテーション装置と、(xv)磁場誘起フラグメンテーション装置と、(xvi)酵素消化又は酵素分解フラグメンテーション装置と、(xvii)イオン−イオン反応フラグメンテーション装置と、(xviii)イオン−分子反応フラグメンテーション装置と、(xix)イオン−原子反応フラグメンテーション装置と、(xx)イオン−準安定イオン反応フラグメンテーション装置と、(xxi)イオン−準安定分子反応フラグメンテーション装置と、(xxii)イオン−準安定原子反応フラグメンテーション装置と、(xxiii)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−イオン反応装置と、(xxiv)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−分子反応装置と、(xxv)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−原子反応装置と、(xxvi)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−準安定イオン反応装置と、(xxvii)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−準安定分子反応装置と、(xxviii)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−準安定原子反応装置と、(xxix)電子イオン化解離(Electron Ionization Dissociation:EID)フラグメンテーション装置と、からなる群から選択される一つ以上の衝突セル、フラグメンテーションセル又は反応セル、及び/又は、 (g)質量分析器であって、(i)四重極質量分析器と、(ii)2次元又はリニア四重極質量分析器と、(iii)ポール(Paul)トラップ型又は3次元四重極質量分析器と、(iv)ペニング(Penning)トラップ型質量分析器と、(v)イオントラップ型質量分析器と、(vi)磁場型質量分析器と、(vii)飛行時間型質量分析器と、(viii)直交加速飛行時間型質量分析器と、(ix)線形加速飛行時間型質量分析器と、からなる群から選択される質量分析器、及び/又は、 (h)一つ以上のエネルギー分析器又は静電エネルギー分析器、及び/又は、 (i)一つ以上のイオン検出器、及び/又は、 (j)一つ以上のマスフィルターであって、(i)四重極マスフィルターと、(ii)2次元又はリニア四重極イオントラップと、(iii)ポール(Paul)型又は3次元四重極イオントラップと、(iv)ペニング(Penning)型イオントラップと、(v)イオントラップと、(vi)磁場型マスフィルターと、(vii)飛行時間型マスフィルターと、(viii)ウィーン(Wein)フィルターと、からなる群から選択される一つ以上のマスフィルター、及び/又は、 (k)ほぼ連続的なイオンビームをパルス状のイオンビームに変換するデバイス、 を備える。] [0047] 一実施形態において、質量分析計が、さらに、 C型トラップと、 質量分析器と、を備え、 第1動作モード下では、イオンは、C型トラップに導入された後、質量分析器に入射され、 第2動作モード下では、イオンは、C型トラップに続いて、衝突セル、フラグメンテーションセル、若しくは、反応セル、又は、電子移動解離、及び/又はプロトン移動反応装置に導入されて、少なくとも一部のイオンがフラグメントイオンに断片化され、及び/又は、少なくとも一部のイオンが反応してプロダクトイオンを生成し、フラグメントイオン及び/又はプロダクトイオンは、C型トラップに導入された後、質量分析器に入射される構成でもよい。] [0048] 望ましくは、イオン検出器が、(i)10未満の値、(ii)10から100の範囲の値、(iii)100から1000の範囲の値、(iv)103から104の範囲の値、(v)104から105の範囲の値、(vi)105から106の範囲の値、(vii)106から107の範囲の値、(viii)107より大きい値、からなる群から選択されるゲインを有する。] [0049] 本発明の別の態様は、質量分析方法であって、ガス電子増幅イオン検出器を用いて、イオンを検出する工程を備える。] [0050] 本発明のまた別の態様は、装置であって、 イオン移動度分光計であって、第1の複数の電極、及び/又は、第2の複数の電極を有するイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置を備えるイオン移動度分光計と、 ガス電子増幅イオン検出器であって、イオン移動度分光計から、及び/又は、イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置から出てくるイオンを検出するように配置及び構成されるガス電子増幅イオン検出器と、 を備える。] [0051] 一実施形態において、 (a)イオン移動度分光計は、イオン移動度に従ってイオンを時間的に分類するように構成される。及び/又は (b)イオン移動度分光計は、電界強度とイオン移動度の変化率に従ってイオンを時間的に分類するように配置および構成される電界非対称性イオン移動度分光計(Field Asymmetric Ion Mobility Spectrometer:FAIMS)を備える。及び/又は、 (c)使用時に、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置内にバッファガス、反応ガス、又はフラグメンテーションガスを供給する。及び/又は、 (d)イオン移動度分光計は、気相電気泳動装置を備える。及び/又は、 (e)イオン移動度分光計は、ドリフト管と、ドリフト管の少なくとも一部に沿ってDC軸電圧勾配を維持する一つ以上の電極と、を備える。及び/又は、 (f)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、一つ以上の多重極ロッドセットを備える。及び/又は、 (g)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、一つ以上の四重極、六重極、八重極、又は、それ以上の多重極ロッドセットを備える。及び/又は、 (h)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、一つ以上の四重極、六重極、八重極、又は、それ以上の多重極ロッドセットを備え、一つ以上の多重極ロッドセットは、軸方向にセグメント化され、複数の軸方向セグメントを備える。及び/又は、 (i)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、少なくとも5個、10個、15個、20個、25個、30個、35個、40個、45個、50個、55個、60個、65個、70個、75個、80個、85個、90個、95個、又は100個の電極を備える。及び/又は、 (j)第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%、及び/又は、第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、使用時にイオンを透過させる孔を備える。及び/又は、 (k)第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%、及び/又は、第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ大きさ、又は、ほぼ同じ面積の孔を備える。及び/又は、 (l)第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ第1の大きさ、又は、ほぼ同じ第1の面積の孔を備える、及び/又は、第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、第1の大きさとは異なるほぼ同じ第2の大きさ、又は、第1の面積とは異なるほぼ同じ第2の面積の孔を備える。及び/又は、 (m)第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ第3の大きさ、又は、ほぼ同じ第3の面積の孔を備える、及び/又は、第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、第3の大きさとは異なるほぼ同じ第4の大きさ、又は、第3の面積とは異なるほぼ同じ第4の面積の孔を備える。及び/又は、 (n)第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%、及び/又は、第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸に沿った方向に、次第に大きさ又は面積が大きくなる、及び/又は、小さくなる孔を備える。及び/又は、 (o)第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%、及び/又は、第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、(i)1.0mm以下、(ii)2.0mm以下、(iii)3.0mm以下、(iv)4.0mm以下、(v)5.0mm以下、(vi)6.0mm以下、(vii)7.0mm以下、(viii)8.0mm以下、(ix)9.0mm以下、(x)10.0mm以下、(xi)10.0mmより大きい値、からなる群から選択される内径又は寸法を有する孔を備える。及び/又は、 (p)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、複数の平板電極又はメッシュ電極を備え、平板電極又はメッシュ電極の少なくとも一部は、使用時にイオンが移動する平面内に配置される。及び/又は、 (q)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、複数の平板電極又はメッシュ電極を備え、平板電極又はメッシュ電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、使用時にイオンが移動する平面内に配置される。及び/又は、 (r)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、少なくとも2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個、15個、16個、17個、18個、19個、20個、又は21個以上の平板電極又はメッシュ電極を備える。及び/又は、 (s)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、少なくとも2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個、15個、16個、17個、18個、19個、20個、又は21個以上の平板電極又はメッシュ電極を備え、平板電極又はメッシュ電極にAC電圧又はRF電圧を供給し、隣接する平板電極又はメッシュ電極には逆相のAC電圧又はRF電圧を供給する。及び/又は、 (t)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、複数の軸方向セグメント、すなわち、少なくとも5個、10個、15個、20個、25個、30個、35個、40個、45個、50個、55個、60個、65個、70個、75個、80個、85個、90個、95個、又は100個の軸方向セグメントを備える。及び/又は、 (u)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、さらに、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向長さの少なくとも一部に沿って、ほぼ一定のDC電圧勾配を保持するDC電圧手段を備える。] [0052] 一実施形態において、 (a)第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%、及び/又は、第2の電極の少なくとも少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、ほぼ円形、矩形、正方形、又は楕円形の孔を備える。及び/又は、 (b)第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ第1の大きさ、又は、ほぼ同じ第1の面積を有する孔を備え、及び/又は、第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、第1の大きさとは異なるほぼ同じ第2の大きさ、又は、第1の面積とは異なるほぼ同じ第2の面積を有する孔を備える。及び/又は、 (c)第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ第3の大きさ、又は、ほぼ同じ第3の面積を有する孔を備え、及び/又は、第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、第3の大きさとは異なるほぼ同じ第4の大きさ、又は、第3の面積とは異なるほぼ同じ第4の面積を有する孔を備える。及び/又は、 (d)第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%及び/又は第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸に沿った方向に、次第に大きさ又は面積が大きくなる、及び/又は、小さくなる孔を備える。及び/又は、 (e)第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%及び/又は第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、(i)1.0mm以下、(ii)2.0mm以下、(iii)3.0mm以下、(iv)4.0mm以下、(v)5.0mm以下、(vi)6.0mm以下、(vii)7.0mm以下、(viii)8.0mm以下、(ix)9.0mm以下、(x)10.0mm以下、(xi)10.0mmより大きい値、からなる群から選択される内径又は寸法を有する孔を備える。及び/又は、 (f)第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%及び/又は第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、(i)5mm以下、(ii)4.5mm以下、(iii)4mm以下、(iv)3.5mm以下、(v)3mm以下、(vi)2.5mm以下、(vii)2mm以下、(viii)1.5mm以下、(ix)1mm以下、(x)0.8mm以下、(xi)0.6mm以下、(xii)0.4mm以下、(xiii)0.2mm以下、(xiv)0.1mm以下、(xv)0.25mm以下、からなる群から選択される軸方向距離だけ互いに離れている。及び/又は、 (g)第1の電極の少なくとも一部及び/又は第2の電極の少なくとも一部は孔を備え、隣接する電極間の中心間軸方向距離に対する孔の内径又は寸法の比は、(i)1.0未満の値、(ii)1.0から1.2の範囲の値、(iii)1.2から1.4の範囲の値、(iv)1.4から1.6の範囲の値、(v)1.6から1.8の範囲の値、(vi)1.8から2.0の範囲の値、(vii)2.0から2.2の範囲の値、(viii)2.2から2.4の範囲の値、(ix)2.4から2.6の範囲の値、(x)2.6から2.8の範囲の値、(xi)2.8から3.0の範囲の値、(xii)3.0から3.2の範囲の値、(xiii)3.2から3.4の範囲の値、(xiv)3.4から3.6の範囲の値、(xv)3.6から3.8の範囲の値、(xvi)3.8から4.0の範囲の値、(xvii)4.0から4.2の範囲の値、(xviii)4.2から4.4の範囲の値、(xix)4.4から4.6の範囲の値、(xx)4.6から4.8の範囲の値、(xxi)4.8から5.0の範囲の値、(xxii)5.0より大きい値、からなる群から選択される。及び/又は、 (h)第1の電極の孔の内径及び/又は第2の電極の孔の内径は、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の長手方向の軸に沿って、少なくとも一回、次第に大きく、又は、次第に小さくなり、その後、次第に小さく、又は、次第に大きくなる。及び/又は、 (i)第1の電極及び/又は第2の電極は、幾何学量を規定し、幾何学量は、(i)一つ以上の球体、(ii)一つ以上の扁平楕円体、(iii)一つ以上の扁長楕円体、(iv)一つ以上の楕円体、(v)一つ以上の三軸楕円体、からなる群から選択される。及び/又は、 (j)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、(i)20mm未満の値、(ii)20から40mmの範囲の値、(iii)40から60mmの範囲の値、(iv)60から80mmの範囲の値、(v)80から100mmの範囲の値、(vi)100から120mmの範囲の値、(vii)120から140mmの範囲の値、(viii)140から160mmの範囲の値、(ix)160から180mmの範囲の値、(x)180から200mmの範囲の値、(xi)200mmより大きな値、からなる群から選択される長さを有する。及び/又は、 (k)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、少なくとも(i)1個から10個の電極、(ii)10個から20個の電極、(iii)20個から30個の電極、(iv)30個から40個の電極、(v)40個から50個の電極、(vi)50個から60個の電極、(vii)60個から70個の電極、(viii)70個から80個の電極、(ix)80個から90個の電極、(x)90個から100個の電極、(xi)100個から110個の電極、(xii)110個から120個の電極、(xiii)120個から130個の電極、(xiv)130個から140個の電極、(xv)140個から150個の電極、(xvi)150個から160個の電極、(xvii)160個から170個の電極、(xviii)170個から180個の電極、(xix)180個から190個の電極、(xx)190個から200個の電極、および(xxi)200個以上の電極を備える。及び/又は、 (l)第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%及び/又は第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、(i)5mm以下、(ii)4.5mm以下、(iii)4mm以下、(iv)3.5mm以下、(v)3mm以下、(vi)2.5mm以下、(vii)2mm以下、(viii)1.5mm以下、(ix)1mm以下、(x)0.8mm以下、(xi)0.6mm以下、(xii)0.4mm以下、(xiii)0.2mm以下、(xiv)0.1mm以下、(xv)0.25mm以下、からなる群から選択される厚み又は軸方向の長さを有する。及び/又は、 (m)第1の電極及び/又は第2の電極のピッチ又は軸方向の距離は、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の長手方向の軸に沿って、少なくとも一回、次第に小さくなる、又は、次第に大きくなる。] [0053] 一実施形態において、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、さらに、 (i)第1の電極及び/又は第2の電極に対して、及び/又は補助電極に対して、一つ以上のDC電圧を印加するデバイスであって、動作モードで、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも一部、もしくは、少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%に沿って、ほぼ一定のDC電圧勾配を保持するデバイス、及び/又は、 (ii)第1の電極及び/又は第2の電極に対して、多相RF電圧を印加するデバイスであって、印加により、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも一部、もしくは、少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%に沿って、少なくとも一部のイオンを移動させるデバイス、 を備える。] [0054] 一実施形態において、装置は、さらに、第1のRFデバイスであって、第1の電極の少なくとも一部及び/又は第2の電極の少なくとも一部に対して、第1の周波数および第1の振幅を有する第1のAC電圧又はRF電圧を印加することにより、使用時に、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置内部で径方向にイオンを閉じ込めるように配置および構成される第1のRFデバイスを備える。] [0055] 第1の周波数は、望ましくは、(i)100kHz未満の値、(ii)100から200kHzの範囲の値、(iii)200から300kHzの範囲の値、(iv)300から400kHzの範囲の値、(v)400から500kHzの範囲の値、(vi)0.5から1.0MHzの範囲の値、(vii)1.0から1.5MHzの範囲の値、(viii)1.5から2.0MHzの範囲の値、(ix)2.0から2.5MHzの範囲の値、(x)2.5から3.0MHzの範囲の値、(xi)3.0から3.5MHzの範囲の値、(xii)3.5から4.0MHzの範囲の値、(xiii)4.0から4.5MHzの範囲の値、(xiv)4.5から5.0MHzの範囲の値、(xv)5.0から5.5MHzの範囲の値、(xvi)5.5から6.0MHzの範囲の値、(xvii)6.0から6.5MHzの範囲の値、(xviii)6.5から7.0MHzの範囲の値、(xix)7.0から7.5MHzの範囲の値、(xx)7.5から8.0MHzの範囲の値、(xxi)8.0から8.5MHzの範囲の値、(xxii)8.5から9.0MHzの範囲の値、(xxiii)9.0から9.5MHzの範囲の値、(xxiv)9.5から10.0MHzの範囲の値、(xxv)10.0MHzより大きい値、からなる群から選択される。] [0056] 第1の振幅は、(i)50Vより小さいピークピーク値(peak to peak)、(ii)50Vから100Vの範囲のピークピーク値、(iii)100Vから150Vの範囲のピークピーク値、(iv)150Vから200Vの範囲のピークピーク値、(v)200Vから250Vの範囲のピークピーク値、(vi)250Vから300Vの範囲のピークピーク値、(vii)300Vから350Vの範囲のピークピーク値、(viii)350Vから400Vの範囲のピークピーク値、(ix)400Vから450Vの範囲のピークピーク値、(x)450Vから500Vの範囲のピークピーク値、(xi)500Vより大きいピークピーク値、からなる群から選択される。及び/又は、 (c)動作モードにおいて、第1の電極及び/又は第2の電極のうち隣接又は近接する電極に、逆位相の第1のAC電圧又はRF電圧を供給する。及び/又は、 (d)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、1から10の電極群、10から20の電極群、20から30の電極群、30から40の電極群、40から50の電極群、50から60の電極群、60から70の電極群、70から80の電極群、80から90の電極群、90から100の電極群、又は、100より多い電極群を備え、各電極群には、少なくとも1個、2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個、15個、16個、17個、18個、19個、又は20個の電極が含まれ、各電極群の少なくとも1個、2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個、15個、16個、17個、18個、19個、又は20個の電極に同一位相の第1のAC電圧又はRF電圧を供給する。] [0057] 装置は、望ましくは、さらに、期間t1にわたって、第1の振幅を、x1MHzだけ、漸次増大させる、漸次減少させる、漸次変化させる、スキャンする、直線的に増加させる、直線的に減少させる、段階的、漸進的若しくは他の方法で増大させる、又は、段階的、漸進的又は他の方法で減少させるように配置および構成されるデバイスを備える。] [0058] ここで、x1は、望ましくは、(i)100kHz未満の値、(ii)100から200kHzの範囲の値、(iii)200から300kHzの範囲の値、(iv)300から400kHzの範囲の値、(v)400から500kHzの範囲の値、(vi)0.5から1.0MHzの範囲の値、(vii)1.0から1.5MHzの範囲の値、(viii)1.5から2.0MHzの範囲の値、(ix)2.0から2.5MHzの範囲の値、(x)2.5から3.0MHzの範囲の値、(xi)3.0から3.5MHzの範囲の値、(xii)3.5から4.0MHzの範囲の値、(xiii)4.0から4.5MHzの範囲の値、(xiv)4.5から5.0MHzの範囲の値、(xv)5.0から5.5MHzの範囲の値、(xvi)5.5から6.0MHzの範囲の値、(xvii)6.0から6.5MHzの範囲の値、(xviii)6.5から7.0MHzの範囲の値、(xix)7.0から7.5MHzの範囲の値、(xx)7.5から8.0MHzの範囲の値、(xxi)8.0から8.5MHzの範囲の値、(xxii)8.5から9.0MHzの範囲の値、(xxiii)9.0から9.5MHzの範囲の値、(xxiv)9.5から10.0MHzの範囲の値、(xxv)10.0MHzより大きい値、からなる群から選択される。] [0059] また、t1は、望ましくは、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から10ミリ秒の範囲の値、(iii)10から20ミリ秒の範囲の値、(iv)20から30ミリ秒の範囲の値、(v)30から40ミリ秒の範囲の値、(vi)40から50ミリ秒の範囲の値、(vii)50から60ミリ秒の範囲の値、(viii)60から70ミリ秒の範囲の値、(ix)70から80ミリ秒の範囲の値、(x)80から90ミリ秒の範囲の値、(xi)90から100ミリ秒の範囲の値、(xii)100から200ミリ秒の範囲の値、(xiii)200から300ミリ秒の範囲の値、(xiv)300から400ミリ秒の範囲の値、(xv)400から500ミリ秒の範囲の値、(xvi)500から600ミリ秒の範囲の値、(xvii)600から700ミリ秒の範囲の値、(xviii)700から800ミリ秒の範囲の値、(xix)800から900ミリ秒の範囲の値、(xx)900から1000ミリ秒の範囲の値、(xxi)1から2秒の範囲の値、(xxii)2から3秒の範囲の値、(xxiii)3から4秒の範囲の値、(xxiv)4から5秒の範囲の値、および(xxv)5秒より長い値、からなる群から選択される。] [0060] 装置が、さらに、第1の電極及び/又は第2の電極に対して、第2の振幅、高さ、又は深さを有する一つ以上の過渡DC電圧又は電位あるいは一つ以上の過渡DC電圧波形又は電位波形を印加するデバイスであって、この印加により、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも一部、もしくは、少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%に沿って、少なくとも一部のイオンを移動させるデバイスを備える構成でもよい。] [0061] 一実施形態において、装置が、さらに、期間t2にわたって、第2の振幅、高さ、又は深さを、x2ボルトだけ、変化させる、漸次増大させる、漸次減少させる、漸次変化させる、スキャンする、直線的に増加させる、直線的に減少させる、段階的、漸進的若しくは他の方法で増大させる、又は、段階的、漸進的若しくは他の方法で減少させるように配置および構成されるデバイスを備える構成でもよい。] [0062] ここで、x2は、望ましくは、(i)50Vより小さいピークピーク値(peak to peak)、(ii)50Vから100Vの範囲のピークピーク値、(iii)100Vから150Vの範囲のピークピーク値、(iv)150Vから200Vの範囲のピークピーク値、(v)200Vから250Vの範囲のピークピーク値、(vi)250Vから300Vの範囲のピークピーク値、(vii)300Vから350Vの範囲のピークピーク値、(viii)350Vから400Vの範囲のピークピーク値、(ix)400Vから450Vの範囲のピークピーク値、(x)450Vから500Vの範囲のピークピーク値、(xi)500Vより大きいピークピーク値、からなる群から選択される。] [0063] また、t2は、望ましくは、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から10ミリ秒の範囲の値、(iii)10から20ミリ秒の範囲の値、(iv)20から30ミリ秒の範囲の値、(v)30から40ミリ秒の範囲の値、(vi)40から50ミリ秒の範囲の値、(vii)50から60ミリ秒の範囲の値、(viii)60から70ミリ秒の範囲の値、(ix)70から80ミリ秒の範囲の値、(x)80から90ミリ秒の範囲の値、(xi)90から100ミリ秒の範囲の値、(xii)100から200ミリ秒の範囲の値、(xiii)200から300ミリ秒の範囲の値、(xiv)300から400ミリ秒の範囲の値、(xv)400から500ミリ秒の範囲の値、(xvi)500から600ミリ秒の範囲の値、(xvii)600から700ミリ秒の範囲の値、(xviii)700から800ミリ秒の範囲の値、(xix)800から900ミリ秒の範囲の値、(xx)900から1000ミリ秒の範囲の値、(xxi)1から2秒の範囲の値、(xxii)2から3秒の範囲の値、(xxiii)3から4秒の範囲の値、(xxiv)4から5秒の範囲の値、および(xxv)5秒より長い値、からなる群から選択される。] [0064] 一実施形態において、装置が、さらに、期間t3にわたって、一つ以上の過渡DC電圧若しくは電位又は一つ以上の過渡DC電圧波形若しくは電位波形を第1の電極及び/又は第2の電極に対して印加する速度すなわち変化率、又は、平行移動させる速度すなわち変化率をx3m/sだけ、変化させる、漸次増大させる、漸次減少させる、漸次変化させる、スキャンする、直線的に増加させる、直線的に減少させる、段階的、漸進的若しくは他の方法で増大させる、又は、段階的、漸進的若しくは他の方法で減少させるように配置および構成されるデバイスを備える構成でもよい。] [0065] ここで、x3は、望ましくは、(i)1未満の値、(ii)1から2の範囲の値、(iii)2から3の範囲の値、(iv)3から4の範囲の値、(v)4から5の範囲の値、(vi)5から6の範囲の値、(vii)6から7の範囲の値、(viii)7から8の範囲の値、(ix)8から9の範囲の値、(x)9から10の範囲の値、(xi)10から11の範囲の値、(xii)11から12の範囲の値、(xiii)12から13の範囲の値、(xiv)13から14の範囲の値、(xv)14から15の範囲の値、(xvi)15から16の範囲の値、(xvii)16から17の範囲の値、(xviii)17から18の範囲の値、(xix)18から19の範囲の値、(xx)19から20の範囲の値、(xxi)20から30の範囲の値、(xxii)30から40の範囲の値、(xxiii)40から50の範囲の値、(xxiv)50から60の範囲の値、(xxv)60から70の範囲の値、(xxvi)70から80の範囲の値、(xxvii)80から90の範囲の値、(xxviii)90から100の範囲の値、(xxix)100から150の範囲の値、(xxx)150から200の範囲の値、(xxxi)200から250の範囲の値、(xxxii)250から300の範囲の値、(xxxiii)300から350の範囲の値、(xxxiv)350から400の範囲の値、(xxxv)400から450の範囲の値、(xxxvi)450から500の範囲の値、(xxxvii)500から600の範囲の値、(xxxviii)600から700の範囲の値、(xxxix)700から800の範囲の値、(xl)800から900の範囲の値、(xli)900から1000の範囲の値、(xlii)1000から2000の範囲の値、(xliii)2000から3000の範囲の値、(xliv)3000から4000の範囲の値、(xlv)4000から5000の範囲の値、(xlvi)5000から6000の範囲の値、(xlvii)6000から7000の範囲の値、(xlviii)7000から8000の範囲の値、(xlix)8000から9000の範囲の値、(l)9000から10000の範囲の値、(li)10000より大きい値、からなる群から選択される。] [0066] また、t3は、望ましくは、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から10ミリ秒の範囲の値、(iii)10から20ミリ秒の範囲の値、(iv)20から30ミリ秒の範囲の値、(v)30から40ミリ秒の範囲の値、(vi)40から50ミリ秒の範囲の値、(vii)50から60ミリ秒の範囲の値、(viii)60から70ミリ秒の範囲の値、(ix)70から80ミリ秒の範囲の値、(x)80から90ミリ秒の範囲の値、(xi)90から100ミリ秒の範囲の値、(xii)100から200ミリ秒の範囲の値、(xiii)200から300ミリ秒の範囲の値、(xiv)300から400ミリ秒の範囲の値、(xv)400から500ミリ秒の範囲の値、(xvi)500から600ミリ秒の範囲の値、(xvii)600から700ミリ秒の範囲の値、(xviii)700から800ミリ秒の範囲の値、(xix)800から900ミリ秒の範囲の値、(xx)900から1000ミリ秒の範囲の値、(xxi)1から2秒の範囲の値、(xxii)2から3秒の範囲の値、(xxiii)3から4秒の範囲の値、(xxiv)4から5秒の範囲の値、および(xxv)5秒より長い値、からなる群から選択される。] [0067] 装置が、さらに、 (i)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%に沿って、線形軸方向DC電場を形成する、又は、 (ii)イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%に沿って、非線形又は段階式軸方向DC電場を形成する、 ように配置および構成されるデバイスを備える構成も望ましい。] [0068] 一実施形態において、イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置を通過するイオンの少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%の滞留時間、走行時間、又は反応時間が、望ましくは、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から5ミリ秒の範囲の値、(iii)5から10ミリ秒の範囲の値、(iv)10から15ミリ秒の範囲の値、(v)15から20ミリ秒の範囲の値、(vi)20から25ミリ秒の範囲の値、(vii)25から30ミリ秒の範囲の値、(viii)30から35ミリ秒の範囲の値、(ix)35から40ミリ秒の範囲の値、(x)40から45ミリ秒の範囲の値、(xi)45から50ミリ秒の範囲の値、(xii)50から55ミリ秒の範囲の値、(xiii)55から60ミリ秒の範囲の値、(xiv)60から65ミリ秒の範囲の値、(xv)65から70ミリ秒の範囲の値、(xvi)70から75ミリ秒の範囲の値、(xvii)75から80ミリ秒の範囲の値、(xviii)80から85ミリ秒の範囲の値、(xix)85から90ミリ秒の範囲の値、(xx)90から95ミリ秒の範囲の値、(xxi)95から100ミリ秒の範囲の値、(xxii)100から105ミリ秒の範囲の値、(xxiii)105から110ミリ秒の範囲の値、(xxiv)110から115ミリ秒の範囲の値、(xxv)115から120ミリ秒の範囲の値、(xxvi)120から125ミリ秒の範囲の値、(xxvii)125から130ミリ秒の範囲の値、(xxviii)130から135ミリ秒の範囲の値、(xxix)135から140ミリ秒の範囲の値、(xxx)140から145ミリ秒の範囲の値、(xxxi)145から150ミリ秒の範囲の値、(xxxii)150から155ミリ秒の範囲の値、(xxxiii)155から160ミリ秒の範囲の値、(xxxiv)160から165ミリ秒の範囲の値、(xxxv)165から170ミリ秒の範囲の値、(xxxvi)170から175ミリ秒の範囲の値、(xxxvii)175から180ミリ秒の範囲の値、(xxxviii)180から185ミリ秒の範囲の値、(xxxix)185から190ミリ秒の範囲の値、(xl)190から195ミリ秒の範囲の値、(xli)195から200ミリ秒の範囲の値、(xlii)200ミリ秒より長い値、からなる群から選択される。] [0069] イオン移動度分光計及び/又はイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、望ましくは、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から10ミリ秒の範囲の値、(iii)10から20ミリ秒の範囲の値、(iv)20から30ミリ秒の範囲の値、(v)30から40ミリ秒の範囲の値、(vi)40から50ミリ秒の範囲の値、(vii)50から60ミリ秒の範囲の値、(viii)60から70ミリ秒の範囲の値、(ix)70から80ミリ秒の範囲の値、(x)80から90ミリ秒の範囲の値、(xi)90から100ミリ秒の範囲の値、(xii)100から200ミリ秒の範囲の値、(xiii)200から300ミリ秒の範囲の値、(xiv)300から400ミリ秒の範囲の値、(xv)400から500ミリ秒の範囲の値、(xvi)500から600ミリ秒の範囲の値、(xvii)600から700ミリ秒の範囲の値、(xviii)700から800ミリ秒の範囲の値、(xix)800から900ミリ秒の範囲の値、(xx)900から1000ミリ秒の範囲の値、(xxi)1から2秒の範囲の値、(xxii)2から3秒の範囲の値、(xxiii)3から4秒の範囲の値、(xxiv)4から5秒の範囲の値、および(xxv)5秒より長い値、からなる群から選択されるサイクルタイムを有する。] [0070] 本発明の別の態様は、イオン移動度分光計用のイオン検出器であって、イオン検出器はガス電子増幅イオン検出器を備える。] [0071] 本発明のまた別の態様は、イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置用のイオン検出器であって、イオン検出器はガス電子増幅イオン検出器を備える。] [0072] 本発明のさらに別の態様は、質量分析器用のイオン検出器であって、イオン検出器が、ガス電子増幅イオン検出器を備える。] [0073] イオン検出器は、望ましくは、 少なくとも第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段と、 第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段に隣接して配置される、及び/又は、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段に対向して配置される、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードと、 を備える。] [0074] 本発明の別の態様は、イオンの検出方法であって、 イオンをイオン移動度分光計に通す工程と、 イオン移動度分光計から出てくるイオンの少なくとも一部を、ガス電子増幅イオン検出器を用いて検出する工程と、 を備える。] [0075] 本発明のまた別の態様は、イオンの検出方法であって、 イオンをイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置に通す工程と、 イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置から出てくるイオンの少なくとも一部を、ガス電子増幅イオン検出器を用いて検出する工程と、 を備える。] [0076] 本発明のさらに別の態様は、イオンの検出方法であって、 質量分析器でイオンの質量分析を行う工程と、 質量分析器内のイオンの少なくとも一部を、ガス電子増幅イオン検出器を用いて検出する工程と、 を備える。] [0077] イオンの検出方法は、望ましくは、さらに、 少なくとも第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段と、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段に隣接して配置される、及び/又は、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段に対向して配置される、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードと、を備えるイオン検出器を準備する工程 を備える。] [0078] 好適な実施形態は、改良型ガス電子なだれ増幅イオン検出器を備える装置である。イオン検出器が、低エネルギーのイオンを検出可能に配置及び構成されるガス電子増幅検出器を備える構成が望ましい。] [0079] 好適な実施形態に従うガス電子増幅イオン検出器は、正電荷を持つ低エネルギーイオンと負電荷を持つ低エネルギーイオンの両方を検出可能に配置及び構成されることが望ましい。本発明の好適な実施形態に従うガス電子増幅イオン検出器は、望ましくはガス電子増幅検出器への入射口の近傍で、かつ、入射口に対向して配置される電極若しくはカソードを内蔵する、又は、含む構成が望ましい。電極若しくはカソードは、望ましくは、ガス電子増幅検出器の入射口に対して負電位を有するように構成される。] [0080] 動作時に、正電荷を持つ低エネルギー被分析物イオンが、ドリフト領域で受け取られ、ガス電子増幅検出器の入射口から離れる方向に加速され、また、対向電極又はカソードに近付く方向に加速される構成が望ましい。正電荷を持つイオンが、望ましくは、対向電極又はカソードの表面に激突して、負電荷を持つ二次イオン及び/又は二次電子及び/又は二次陽イオンを生成する。二次イオン及び/又は二次電極は、望ましくは、ガス電子増幅検出器の入射口に近付く方向に加速ざれる。負電荷を持つ二次イオン及び/又は二次電子は、望ましくは、ガス電子増幅検出器に入射され、その結果、二次電子が増幅され、次に、もしくは、最終的に、読み出し電極により検出される。ガス電子増幅検出器の入射口に隣接するドリフト領域で受け取られる、負電荷を持つ低エネルギー被分析物イオンを、ガス電子増幅検出器の入射口に直接近付く方向に加速するようにしてもよい。負電荷を持つイオンが電子なだれを誘発することにより、イオンを効果的に増幅および検出することが可能になる。] [0081] 一実施形態において、望ましくはガス電子増幅検出器の入射口に隣接するドリフト領域に配置される対向電極又はカソードの表面を、負電荷を持つ二次イオンの収率を増大させる物質で被覆するようにしてもよい。さらに、又は、代わりに、対向電極又はカソードの表面を二次イオンの収率を増大させる物質で被覆するようにしてもよい。] [0082] 好適な実施形態において、イオン検出器を、被分析物イオンの分析および検出用の分析機器と組み合わせる構成も望ましい。イオン検出器を、たとえば、イオン移動度分離装置及び/又は質量分析計と組み合わせるようにしてもよい。イオン移動度分離装置及び/又は質量分析計及び/又はイオン検出器を、大気圧近傍の圧力レベルに保持し、この圧力レベルで動作させるようにしてもよい。また、好適な実施形態に従うイオン検出器を、大気圧よりも高い圧力レベルで動作させるようにしてもよい。] [0083] 他の実施形態において、イオン移動度分離装置及び/又は質量分析計及び/又はイオン検出器を、大気圧よりも低い圧力レベル又は部分減圧レベルに保持し、この圧力レベルで動作させるようにしてもよい。好適な実施形態において、イオン検出器を、0.01ミリバールよりも高い圧力レベル、より好ましくは、0.1ミリバールよりも高い圧力レベルに維持し、この圧力レベルで動作させるようにしてもよい。] 図面の簡単な説明 [0084] 本発明のさまざまな実施例を、説明をするための他の構成と共に、以下、例示を目的として、添付の図面を参照して詳述する。] [0085] 周知の3段ガス電子増幅放射検出器を示す図。 周知のガス電子増幅放射検出器を高エネルギー粒子を検出するために用いる際の動作原理の概略を示す図。 光子を検出する際の周知のガス電子増幅放射検出器の動作原理の概略を示す図。 電子なだれ源として二次電子放射を用いて低エネルギー正イオンを検出するようにガス電子なだれ増幅器を構成した本発明の実施例の概略を示す図。 CsI基板上およびステンレススチール表面上における質量1182.3Daの入射イオンに関する二次電子収率の文献値を示す図。 電子なだれ源として二次負イオン放射を用いて正イオンを検出するように構成されたガス電子なだれ増幅器を備える実施例の概略を示す図。 低エネルギー負イオンを検出するように構成されたガス電子なだれ増幅器を備える実施例の概略を示す図。 本発明の実施例に従うガス電子増幅イオン検出器を内蔵するイオン移動度分光計を示す図。 本発明の実施例に従うガス電子増幅イオン検出器を内蔵する質量分析計を示す図。] 実施例 [0086] 高エネルギー放射を検出するように設計された周知の3段ガス電子増幅検出器を例として、図1を参照して説明する。放射検出器は、3枚の薄い絶縁ポリマーシート1(GEM1、GEM2、GEM3)を備え、各絶縁ポリマーシート1の厚さは、たとえば、50μmである。ポリマーシートの上面および下面を、銅の薄層2で被覆する。ポリマーシート1を貫通するように小さな穴3をエッチング処理により形成する。孔3の大きさは、たとえば、直径75μm、ピッチは140μmである。] 図1 [0087] 抵抗器ネットワーク4を用いて、銅層2に電圧を印加する。抵抗器ネットワーク4は、孔3の内部に非常に高い電界を形成し、かつ、3段のシート又は箔層(GEM1、GEM2、GEM3)の間の領域内および第3段(最終段)のシート又は箔層(GEM3)と読み出し電極5との間の誘導領域内に低いドリフト場を形成するように、設計される。] [0088] 孔3内部の高電界は、放射検出器の第1段(GEM1)正面の空間又はドリフト領域内に短い距離だけ入り込む。放射検出器正面の空間に漏洩する高電界は、放射検出器の第1段(GEM1)への入射口に近付く方向に負電荷を持つ任意の粒子を加速するように作用する。ただし、同時に、検出器の第1段(GEM1)正面のドリフト領域に漏洩する高電界は、検出器の入射口から遠ざかる方向に正電荷をもつ任意の粒子を加速させる効果がある。] [0089] 図2Aおよび図2Bに、高エネルギー粒子(たとえば、MeVのエネルギー範囲の粒子)および光子(たとえば、X線やガンマ線)を検出するために用いられる周知のガス電子増幅放射検出器の動作原理を示す。図2Aに、放射検出器の第1段(GEM1)への入射口正面の空間を通過する高エネルギー入射粒子6を示す。高エネルギー粒子6は、周囲のガス原子や分子をイオン化して、電子7と正イオン8の両方を生成する。放射検出器の第1段(GEM1)への入射口正面の空間に漏洩する電界は、検出器の入射口から遠ざかる方向に正イオン8を移動させる。同時に、電界は、第1の箔層(GEM1)における孔に近付く方向に電子7を移動させる。] 図2A 図2B [0090] 電子7は、第1の箔層(GEM1)における孔3に入り、第1の箔層(GEM1)における孔3内部の高電界により加速され、その結果、短寿命のタウンゼント放電が開始される。これにより、第1の箔層(GEM1)における孔内部で、より多くの電子や正イオンが生成される。また、周囲のガスに応じて、光子も生成される。] [0091] 第1の箔層(GEM1)における孔内部で生成された正イオンが、第1の箔層(GEM1)を形成する入射口電極に引き付けられる一方、電子は、第2の箔層(GEM2)における孔9内に進入する。第2の箔層(GEM2)における孔9内に入った電子は、ここでもタウンゼント放電を開始し、第2の箔層(GEM2)における孔9内でより多くの電子や正イオンが生成される。この過程が繰り返され、第2の箔層(GEM2)における孔9内で生成された電子は、第3の箔層(GEM3)における孔内に進入する。ここでもまたタウンゼント放電が開始されて、より多くの電子や正イオンが生成される。第3の箔層(GEM3)における孔内の電子10は、その後、誘導領域を通って加速され、読み出し電極5に集まる。この結果、持続時間が10ナノ秒と短い電流パルスが得られる。誘導領域は、第3の箔層(GEM3)と読み出し電極5との間の領域である。この構成における電子ゲインは、通常、104から106のレベルである。] [0092] 図2Bに、放射をイオン化する際の従来の構成を示す。検出器の第1段(GEM1)への入射口正面の空間のドリフト領域を通過する入射光子11は、周囲のガス原子や分子をイオン化して、電子7と正イオン8とを生成する。この後は、図2Aの構成を参照して上述したものと同様の過程が繰り返される。あるいは、検出器の第1段(GEM1)への入射口電極の開口表面又は上部表面上に析出するCsIの表面層のような光電陰極物質上に光子が入射される。光電陰極から放出される光電子は、第1の箔層(GEM1)における孔3に引き付けられ、上述したような一連の電子なだれが誘発される。] 図2A 図2B [0093] 図3に、本発明の一実施例に従うガス電子増幅イオン検出器を示す。低エネルギー正イオンを検出するように配置及び構成されるガス電子なだれ増幅イオン検出器を好適な実施例として説明する。対向電極又はカソード12は、望ましくは、イオン検出器の第1段(GEM1)への入射口の近傍に、入射口に対向して配置される。被分析物イオンが、対向電極又はカソード12とイオン検出器の第1段(GEM1)の上面との間に配置されるドリフト領域を通過することにより、対向電極又はカソード12とイオン検出器の第1段(GEM1)への入射口との間を通るような構成が望ましい。] 図3 [0094] 一実施形態において、2つの表面の間、すなわち、対向電極又はカソード12と第1の箔層(GEM1)の上面との間の側面からドリフト領域にイオンが入るような構成でもよい。あるいは、対向電極12をグリッド電極やメッシュ電極から形成し、使用時に被分析物イオンが通過可能な孔を備える構成でもよい。図3に、対向電極又はカソード12に、たとえば、数kVの負電位を印加することにより、入射される低エネルギー被分析物正イオン13が対向電極又はカソード12に引き付けられる様子を示す。被分析物イオン13が対向電極又はカソード12に近付く方向に移動し、検出器内部又はドリフト領域内部のガス分子に衝突する構成が望ましい。この結果、被分析物イオン13は、ガスが存在しない条件下での衝撃速度に到達することができない。] 図3 [0095] 一実施形態において、望ましくは、対向電極又はカソード12の表面には、低エネルギーイオン衝撃による二次負イオン及び/又は二次電子の収率を増大させるように設計される表面被覆14を備える。入射イオン13が対向電極又はカソード12の表面に与える衝撃により、表面被覆又は表面層14から二次負イオンおよび電子15が放出される。] [0096] イオン衝撃を受ける表面から放出される二次電子の数を、ポアソン分布により説明する。] [0097] 平均二次電子収率γに基づき、n個の二次電子が放出される確率P(n)を以下の式で表わすことができる。] [0098] したがって、0個の二次電子を生成する確率P(0)は、以下の式で表わされる。] [0099] すなわち、一つ以上の電子が放出される確率は、以下の式により算出可能である。] [0100] 実際の収率は、被衝撃物質の仕事関数や入射分子イオンの質量、イオンの元素組成、イオンの衝撃角度、イオンの衝撃速度等、さまざまな因子に応じて変動する。] [0101] 物質の高エネルギー(又は高速度)分子イオン衝撃により引き起こされる二次電子放出の研究が行われており、入射分子イオンの速度が減少するにつれて二次電子の収率も減少することが知られている。以前には、これ以下の速度では二次電子が放出されないイオン検出速度の閾値が約10〜18mm/μsの範囲に存在すると考えられていた。しかしながら、最近の測定結果から、これは実際には正しくなく、4mm/μs程度の低い入射イオン速度でも二次電子放出が起こりえることがわかっている。たとえば、Brunelle(Rapid Commun.Mass Spectrom. 1997、353)は、6mm/μsの衝撃速度における66kDaのイオンの検出確率が約0.2であると報告している。] [0102] BrunelleおよびWestmacott(Nucl.Instrum.MethodsB 1996、108:282)は、20mm/μs以下の速度範囲におけるデータを報告している。Westmacottは、ステンレススチール(SS)表面およびCsI表面に対するインスリン(5733.5Da)、トリプシン(約23540Da)、ヒト・トランスフェリン(約79500Da)、β‐ガラクトシダーゼ(約113600Da)衝撃のデータを報告している。また、Brunelleは、CsIに対する質量1182.3Daの黄体形成ホルモン放出ホルモン(LHRH)、ウシ・インスリン(5733.5Da)、ウシ・トリプシン(23296Da)およびウシ血清アルブミン(66430Da)衝撃のデータを報告している。] [0103] Westmacottによれば、単位質量あたり(少なくとも約5kDaから120kDaの間)の入射粒子エネルギーに対して二次粒子収率の減少(入射粒子の質量で除算したγ)をプロットした場合、すべてのデータ点が、所定の標的物質に対する同一曲線上に位置する。Brunelleにより報告されたデータから、1182.3DaのLHRHのデータに基づき、入射粒子速度の関数として二次粒子の収率を求めることが可能であることがわかる。このデータを、入射粒子速度(mm/μs)の関数としてLHRH(1182.3Da)から推定される二次電子収率を与えるようにスケーリングされたWestmacottのデータと共に、図4に示す。CsI標的に対するWestmacottのデータとBrunelleのデータとの間には高い相関性がみられる。たとえば、速度7から8mm/μsで表面に入射されるLHRHイオンのγ値は0.01である。] 図4 [0104] 上述したように、たとえばイオン移動度分光計に利用可能なファラデーカップ検出システムでは、信号を検出するために、最低でも103個、通常は104個以上のイオンを必要とする。これに対して、本発明の実施例では、二次電子の収率が0.01である場合、信号の検出に必要なイオンの数は、約100個に過ぎない。これは、従来のファラデーカップ検出器よりも一桁あるいは二桁少ない値であり、実施例のイオン検出器が従来の検出器と比べて大きく改善されていることがわかる。] [0105] 再び図3を参照して説明する。放出された二次電子15が加速されて、上部電極(GEM1)における孔内に進入すると、上述したような一連の電子なだれが誘発される。二次電子16の一部が検出器の第1段(GEM1)の入射口電極の表面に衝突することにより、さらに多くの電子が放出される。このようにして放出された電子が加速されて、第1の電極(GEM1)における孔内に進入することにより、電子なだれが誘発される。電極の露出面を、二次電子の収率を増大させるような物質で被覆するようにしてもよい。] 図3 [0106] さらに、被分析物正イオンが対向電極又はカソード12の表面に入射することにより、負電荷を持つ二次イオン17が放出される。所定の状況下では、このような構成により、高い効率の検出機構を実現することが可能である。図5を参照して、このような構成の実施例を詳述する。図5に示すように、対向電極又はカソード12に負電位を印加することにより、低エネルギー被分析物正イオン13は、対向電極又はカソード12に引き付けられる。入射正イオン13が対向電極又はカソード12に及ぼす衝撃により、二次負イオン17が放出される。] 図5 [0107] 低エネルギーの正イオン衝撃による二次負イオンの収率を増大させるような被膜14を、対向電極又はカソード12の表面に形成するようにしてもよい。入射正イオン13の衝撃により二次負イオン17が放出される。放出された二次負イオン17は、第1の箔層(GEM1)の入射口電極に近付く方向に移動する。第1の箔層(GEM1)の入射口電極における孔に入ると、二次負イオン17は加速され、その結果、ガス分子との間で高エネルギー衝突が起こる。このような衝突により、電子および正イオンが生成され、生成された電子19により上述したような一連の電子なだれが誘発される。この領域において中性分子18と自由電子19とを生成する非常に高い電界による衝突イオン化により、負電荷を持つイオンが余分な電子を放出すると考えられる。生成された自由電子19により、望ましくは、上述したような一連の電子なだれが誘発される。] [0108] Westmacottは、CsIおよびステンレススチールに対する、インスリン、トリプシン、(1価および2価の電荷を持つ)ヒト・トランスフェリンおよびβ‐ガラクトシダーゼ等、比較的高い質量の正イオンの入射により生成された二次負イオン収率のデータを報告している。この報告によれば、二次負イオン放出の効率は、入射イオンの質量や速度に関係なく、0.4から0.8の範囲であった。この研究において、入射正イオンの速度は、3から28mm/μsの範囲内であった。図4に、この動作範囲を斜線領域20として示す。] 図4 [0109] この動作モードにおける収率は、二次電子放出の収率に比べて、一桁から二桁大きい。本発明の実施例において、約0.4から0.8の範囲の二次負イオンの収率に対して、信号検出に必要とされるイオンの数は、約1個から3個に過ぎない。このイオン数は、ファラデーカップ検出器に比べて、2桁半から4桁少ない。実際には、二次電子の放出機構と二次負イオン放出機構とが同時に働く可能性が高い。] [0110] 上述したようなさまざまな表面からの二次電子の収率を増大及び/又は二次負イオンの収率を増大させるために利用可能な被覆の例としては、これらに限定されるものではないが、CsI、CsTe、αCH:N、Cu、Al、MgO、MgF2およびWが挙げられる。] [0111] 図6に、低エネルギー負イオンを検出可能に配置および構成された、本発明の一実施例に従うガス電子なだれ増幅検出器を示す。対向電極又はカソード12に負電位を印加することが望ましいが、この負電位は、上述した低エネルギー正イオンの検出の際に印加した電位と同じ電位でもよい。入射負イオン21が、対向電極又はカソード12によりはね返されて、検出器の第1段(GEM1)の入射口に直接近付く方向に加速される。検出器の第1段(GEM1)の入射口電極における孔に入ると、二次負イオン21が加速され、その結果、ガス分子との間で高エネルギー衝突が起こる。このような衝突により、電子と正イオンとが生成される。この領域において中性分子22と自由電子23とを生成する非常に高い電界による衝突イオン化により、負電荷を持つイオンが余分な電子を放出すると考えられる。生成された電子23により、望ましくは、上述したような一連の電子なだれが誘発される。] 図6 [0112] 入射負イオン21が第1の箔層(GEM1)の入射口電極表面に衝撃を与える可能性もある。この場合、二次電子又は二次負イオンが生成されて、生成された二次電子又は二次負イオンが第1段の箔電極(GEM1)における孔の一つに向かうことにより、電子なだれが誘発される。] [0113] この構成において、検出器は、電圧を変更することなく、正イオンと負イオンの両方に応答可能である。] [0114] 好適な実施例として、3段の箔電極(GEM1、GEM2、GEM3)を備え、各段の箔電極の厚さを50μmとする構成も望ましい。各段の箔電極を1mmの間隔で配置し、第1段の箔電極(GEM1)と対向電極又はカソード12との間の距離を3mmとしてもよい。たとえば、第1段の箔電極(GEM1)の正面又は上面を接地電位として、各段の箔電極(GEM1、GEM2、GEM3)が100Vの電位差又は電圧差を保持し、その結果、孔内に200kV/cmの電界が形成されるような構成でもよい。隣接する段の箔電極(GEM1、GEM2、GEM3)間で、並びに、最終段の箔電極(GEM3)と読み出しアノード5との間で、30Vの電位差又は電圧差が保持されるような構成でもよい。これらの領域内では、望ましくは、3kV/cmの電界が保持される。第1段の箔電極(GEM1)と対向電極又はカソード12との間の電位差又は電圧差を−1000Vとして、最初のドリフト領域における電界を3kV/cmとする構成でもよい。] [0115] 本発明の実施形態において、ガス電子なだれ増幅素子間で、光電子放出を介した通信を行うようにしてもよい。一実施例において、第1の電荷遮断メッシュ電極を第1段の箔電極(GEM1)と第2段の箔電極(GEM2)との間に配置する構成でもよい。帯状アノード及び/又は帯状カソードが、第1段の箔電極(GEM1)の下面に備えられる構成が望ましい。第1段の箔電極(GEM1)における孔内部で生成された「なだれ電子」は、第1段の箔電極(GEM1)の下面に備えられる帯状アノードに近付く方向に向かう、又は、近づく方向に偏向される。この結果、第2の電子なだれが帯状アノードにおいて誘発される。電子なだれにより生成された光子は、第1の電荷遮断メッシュ電極のグリッドを通過し、望ましくは第2段の箔電極(GEM2)の上面に配置される光電陰極表面に衝突する。光電陰極表面にCsIが含まれることが望ましい。第2段の箔電極(GEM2)の上面に配置される光電陰極から、光電子が誘導又は放出される。望ましくは、光電子は、加速されて、第2段の箔電極(GEM2)における孔内に入り、さらに多くの「なだれ電子」が生成される。] [0116] 第1の電荷遮断メッシュ電極の両側の電界が逆になるように、第1の電荷遮断メッシュ電極を分極又は接地するようにしてもよい。第1段の箔電極(GEM1)における孔内で生成された「なだれ正イオン」は、第1の電荷遮断メッシュ電極に近付く方向に向かう。同様に、第2段の箔電極(GEM2)における孔内で生成された「なだれ正イオン」は、第1の電荷遮断メッシュ電極に近付く方向に戻る。] [0117] 本実施例の構成により、イオンの逆流を効果的に削減又は排除することができる。さらに、適当にバイアスをかけた中間グリッド電極又は電荷遮断電極を用いることにより、第1段の箔電極と第2段の箔電極(GEM1、GEM2)間における電子と逆向きのイオンの輸送を効果的に遮断する、又は、防ぐことができる。] [0118] さらに、又は、代わりに、第2段の箔電極(GEM2)と第3段の箔電極(GEM3)との間に第2の電荷遮断メッシュ電極又は中間グリッド電極を配置する構成でもよい。この実施例において、帯状アノード及び/又は帯状カソードが、第2段の箔電極(GEM2)の下面に備えられる構成が望ましい。第2段の箔電極(GEM2)における孔内部で生成された「なだれ電子」は、第2段の箔電極(GEM2)の下面に備えられる帯状アノードに近付く方向に向かう、又は、近づく方向に偏向される。この結果、第2の電子なだれが帯状アノードにおいて誘発される。電子なだれにより生成された光子は、第2の電荷遮断メッシュ電極のグリッドを通過し、望ましくは第3段の箔電極(GEM3)の上面に備えられる光電陰極表面に衝突する。光電陰極表面にCsIが含まれることが望ましい。第3段の箔電極(GEM3)の上面に配置される光電陰極から、光電子が誘導又は放出される。望ましくは、光電子は、加速されて、第3段の箔電極(GEM3)における孔内に入り、さらに多くの「なだれ電子」が生成される。] [0119] 第2の電荷遮断メッシュ電極の両側の電界が逆になるように、第2の電荷遮断メッシュ電極を分極又は接地するようにしてもよい。第2段の箔電極(GEM2)における孔内で生成された「なだれ正イオン」は、第2の電荷遮断メッシュ電極に近付く方向に向かう。同様に、第3段の箔電極(GEM3)における孔内で生成された「正イオンなだれ」は、第2の電荷遮断メッシュ電極に近付く方向に戻る。] [0120] 単なる一例に過ぎないが、一実施例において、3段の箔電極(GEM1、GEM2、GEM3)を備え、各段の箔電極の厚さを50μmとして、各段の箔電極を2mmの間隔で配置する構成も望ましい。第1段の箔電極(GEM1)と対向電極又はカソード12との間の距離を3mmとしてもよい。3段の箔電極(GEM1、GEM2、GEM3)の中間点に2つの電荷遮断メッシュ電極を備える構成も望ましい。各段の箔電極(GEM1、GEM2、GEM3)の正面又は上面を接地電位に接続するようにしてもよい。各段の箔電極における孔を介した、各箔電極の上部電極と下部電極の帯状カソードとの間の電圧差又は電位差が100Vになるような構成でもよい。また、各段の箔電極(GEM1、GEM2、GEM3)における下部電極の帯状カソードと帯状アノードとの間の電圧が20V(すなわち、接地に対して120V)になるような構成でもよい。電荷遮断メッシュ電極を接地電位に接続し、最終段の箔電極(GEM3)と読み出しアノード5との間の電位を30V(すなわち、接地に対して150V)にするような構成も望ましい。第1段の箔電極と対向電極又はカソード12との間の電圧差を−1000Vとしてもよい。] [0121] 読み出し電極5を光電子増倍管又はCCDカメラに置き換える構成でもよい。光電子増倍管又はCCDカメラは、イオン検出器全体のゲインを増大させるため、先のガス電子増幅段をより低いゲインで動作させることが可能になる。この結果、ガス電子増幅段をより低い電圧値に保持できる。CCDカメラ検出器を用いることにより、空間情報が有用な用途における画像の記録にイオン検出器を利用することが可能になる。] [0122] イオン検出器の第1のガス電子増幅段(GEM1)の前に、別のガス電子増幅段(GEM0)を備える構成にしてもよい。対向電極又はカソード12に正電位を印加して、被分析物正イオンをはね返すようにしてもよい。被分析物正イオンが追加のガス電子増幅段(GEM0)の入射口電極の孔に引き付けられて、孔内部で加速されるように、追加のガス電子増幅段(GEM0)の入射口電極と出射口電極との間の電位を決定するようにしてもよい。被分析物正イオンは、追加段(GEM0)の入射口電極における孔に入ると加速され、周囲のガス分子に衝突する。この衝突により、被分析物イオンが(たとえば、準安定状態に)励起されて、電子をより高いエネルギー状態にする構成でもよい。高エネルギー状態から基底状態に電子が緩和することにより、光子が放出される。準安定イオンが基底状態に緩和することにより放出される光子は、望ましくは第1のガス電子増幅段(GEM1)の入射口電極に配置される光電陰極物質に入射されて、その結果、光電子が放出される。光電子が第1のガス電子増幅段(GEM1)の入射口の孔に入射されると、上述した一連の電子なだれが誘発される。] [0123] 一実施例として、イオン源およびイオンのサンプリング手段又はデバイス24を備える装置を図7に示す。イオン移動度分離器25を、イオン源およびイオンのサンプリング手段又はデバイス24の下流に配置する構成でもよい。少なくともイオンの一部は、イオン移動度に従って、すなわち、イオン移動度分離器25における電界強度に対するイオン移動度の変化率に従って、分離される。好適な実施例において、イオン検出器26は、イオン移動度分光計25の下流に配置される。この実施例の特に好適な特徴として、イオン移動度分光計25とイオン検出器26の両方が比較的高い圧力値に保持可能なため、高価で複雑な高圧ポンピングシステムが不要であることが挙げられる。装置全体を携帯型及び/又は可搬型デバイスとして構成してもよい。あるいは、イオン検出器26を含むイオン移動度分光計を据え付け型すなわち基本的に固定型のデバイスとしてもよい。] 図7 [0124] 装置の上流側端部に配置されるイオン源24として、レーザー脱離イオン化(Laser Desorption Ionization:LDI)イオン源、マトリックス支援レーザー脱離イオン化(Matrix Assisted Laser Desorption Ionization:MALDI)イオン源、シリコンを用いた脱離イオン化(Desorption Ionization on Silicon:DIOS)イオン源等のパルスイオン源を用いてもよい。] [0125] あるいは、イオンパルスを形成するイオンゲートを備える連続イオン源を用いてもよい。この場合、イオン移動度分光計にパルス状のイオンを入力するようなイオンゲートの構成が望ましい。イオンを貯蔵して、定期的にイオンを放出するイオントラップを備える構成でもよい。定期的にパケット状又はパルス状にイオンを放出し、パケット状又はパルス状のイオンがイオン移動度分光計に入力されるように、イオントラップを構成してもよい。] [0126] 利用可能な連続イオン源の例としては、電子衝撃(Electron Impact:EI)イオン源、化学イオン化(Chemical Ionization:CI)イオン源、エレクトロスプレーイオン化(Electrospray ionization:ESI)イオン源、大気圧化学イオン化(Atmospheric Pressure Chemical Ionization:APCI)イオン源、大気圧光子イオン化(Atmospheric Pressure Photon Ionization:APPI)イオン源、高速原子衝撃(Fast Atom Bombardment:FAB)イオン源、液体二次イオン質量分析(Liquid Secondary Ion Mass Spectrometry:LSIMS)イオン源、電界イオン化(Field Ionization:FI)イオン源、電界脱離(Field Desorption:FD)イオン源が挙げられる。これ以外の連続イオン源や疑似連続イオン源を用いることもできる。] [0127] イオン移動度分離器25が、イオン移動度に基づき、又は、イオン移動度に応じて、イオンを時間的に分類するデバイスを備える構成も望ましい。イオン移動度分光計としては、さまざまな形態のものを用いることができる。] [0128] 一実施例において、イオン移動度分光計又は分離器を、使用時に大気圧以上の圧力に保持されるチャンバ内に備えるようにしてもよい。別の実施例において、イオン移動度分光計又は分離器を、使用時に0.1〜10ミリバールの範囲内の圧力に保持される真空チャンバ内に備えるようにしてもよい。あるいは、真空チャンバを10ミリバールより高く、ただし、最大でも大気圧を超えない圧力値に保持するようにしてもよい。場合によっては、真空チャンバを0.1ミリバールより低い圧力値に保持することも可能である。] [0129] 一実施例において、イオン移動度分離器25は、管内に分布させた複数のガードリングを有するドリフト管を備えるイオン移動度分離器でもよい。ガードリングを等値抵抗により相互連結し、DC電圧源に接続するようにしてもよい。ドリフト管の長さ方向に沿って、線形DC電圧勾配が生じるようにしてもよい。ガードリングは、AC電圧源又はRF電圧源には接続されない。] [0130] 別の実施例において、イオン移動度分光計又は分離器25が、複数のリング電極、環状電極、平板電極、又は、もっと一般的には、イオンの透過が可能な孔を有する電極を備える構成でもよい。イオン移動度分離器が、低圧レベル又は部分減圧レベルに保持されるチャンバ内に配置される複数の電極を備える構成でもよい。イオン移動度分離器を構成する複数の電極を、交互に、逆相のAC電源又はRF電源に接続する構成が望ましい。AC電源又はRF電源の周波数は、望ましくは0.1〜10.0MHzの範囲、より望ましくは0.3〜3.0MHzの範囲、もっと望ましくは0.5〜2.0MHzの範囲である。] [0131] イオン移動度分光計又は分離器を構成する電極が、それぞれ抵抗を介して相互に接続されると共に、DC電源に接続される構成が望ましい。イオン移動度分光計又は分離器を構成する電極を相互に接続する抵抗がほぼ等しい値であり、軸方向にDC電圧勾配を形成する構成が望ましい。DC電圧勾配は、線形でもよいし、階段状でもよい。勾配をかけることにより、検出器に近付く方向に、又は、イオン源に近付く方向に、イオンを誘導することができる。印加されるAC電圧又はRF電圧をDC電圧に重ね合わせることにより、イオン移動度分光計又は分離器内で径方向にイオンを閉じ込めることができる。] [0132] 本発明の別の好適な実施例において、イオン移動度分光計又は分離器25が、複数の電極を有する進行波イオンガイドを備える構成でもよい。隣接する電極を逆相のAC電源又はRF電源に接続する構成が望ましい。過渡DC電圧を一つ以上の電極に印加して、一つ以上のポテンシャルの山又はポテンシャル障壁を形成する構成も望ましい。イオン源に近付くようにイオンを駆動・誘導する方向に、又は、イオン検出器26に近付くようにイオンを駆動・誘導する方向に、イオンガイドの軸に沿って、一つ以上のポテンシャルの山若しくはポテンシャル障壁が動くように、過渡DC電圧を一連の電極に漸次印加する構成も望ましい。] [0133] イオン移動度分光計25内部にガスが存在することにより、イオン移動度分光計25を通るイオンの動きに粘性抵抗が加わる。ポテンシャルの山又はポテンシャル障壁をイオンが時折滑り落ちるように、イオン移動度分光計25を構成する電極に過渡的に印加される一つ以上のポテンシャルの山又はポテンシャル障壁の振幅および平均速度を設定する。イオン移動度が低ければ低いほど、ポテンシャルの山又はポテンシャル障壁をイオンが滑り落ちる可能性が高くなる。したがって、異なる移動度のイオンを異なる速度で輸送することが可能になり、イオン移動度分光計を構成する電極に一つ以上の過渡DC電圧又は電位を印加することによって、イオンを分類することができる。] [0134] 別の実施例において、イオン移動度分光計又は分離器25が、参照することにより本明細書に組み込まれるWO2006/085110に詳述されるデバイスを備える構成でもよい。デバイス又はイオン移動度分光計は、望ましくは、上部平坦電極と、下部平坦電極と、複数の中間電極と、を備える。イオンガイド内にイオンガイド領域を形成する構成が望ましい。望ましくは、非対称電圧波形を上部電極に印加し、DC補償電圧を下部電極に印加する。] [0135] 別の実施例において、イオン移動度分光計又は分離器25が、参照することにより本明細書に組み込まれるWO2006/059123に詳述されるデバイスを備える構成でもよい。イオン移動度分光計又はデバイスは、望ましくは、一層以上の中間平坦電極層、中間平板電極層、又は中間メッシュ電極層を備える。第1の電極アレイが上面に、また、第2の電極アレイが下面に備えられる構成も望ましい。イオンガイド内にイオンガイド領域を形成する構成が望ましい。イオンガイドを通して、また、イオンガイドに沿って、イオンを駆動する、進める、押し出す、又は、加速するように、一つ以上の過渡DC電圧又は電位を第1の電極アレイ及び/又は第2の電極アレイに印加する構成も望ましい。] [0136] 好適な実施例において、検出器を、微分イオン移動度分離器又は電界非対称性イオン移動度分光計(Field Asymmetric Ion Mobility Spectrometer:FAIMS)デバイスと共に用いるようにしてもよい。] [0137] 別の実施例において、イオン移動度分光計又は分離器25を、参照することにより本明細書に組み込まれるWO2004/109741に詳述される構成としてもよい。イオン移動度分光計は、望ましくは、キャリアガスの層流内にイオンを取り込むことによって、イオンを抽出するように構成される。障壁領域を設けて、キャリアガスの層流に電界をかける構成が望ましい。層流内に取り込まれたイオンの少なくとも一部は電界を通過しないように、電界の大きさと方向を選択することが望ましい。また、所定の特性を有するイオンの電界通過を可能にするように電界を変化させることが望ましい。] [0138] 好適な実施例において、イオン検出器26は、低エネルギー正イオンと低エネルギー負イオンの両方を検出可能に構成されるガス電子なだれ増幅デバイスを備える。] [0139] 別の実施例として、イオン源およびイオンのサンプリング手段又はデバイス24を備える質量分析計を図8に示す。質量分析計は、望ましくは、さらに、質量分析器27とイオン検出器26とを備える。装置すなわち質量分析計を携帯型及び/又は可搬型デバイスとして構成してもよい。あるいは、質量分析計を据え付け型すなわち固定型のデバイスとしてもよい。] 図8 [0140] 装置すなわち質量分析計の上流端部にイオン源24を配置するようにしてもよい。イオン源としては、たとえば、レーザー脱離イオン化(Laser Desorption Ionization:LDI)イオン源、マトリックス支援レーザー脱離イオン化(Matrix Assisted Laser Desorption Ionization:MALDI)イオン源、シリコンを用いた脱離イオン化(Desorption Ionization on Silicon:DIOS)イオン源等のパルスイオン源を用いてもよい。あるいは、連続イオン源を用いるようにしてもよい。連続イオン源としては、電子衝撃(Electron Impact:EI)イオン源、化学イオン化(Chemical Ionization:CI)イオン源、エレクトロスプレーイオン化(Electrospray ionization:ESI)イオン源、大気圧化学イオン化(Atmospheric Pressure Chemical Ionization:APCI)イオン源、大気圧光子イオン化(Atmospheric Pressure Photon Ionization:APPI)イオン源、高速原子衝撃(Fast Atom Bombardment:FAB)イオン源、液体二次イオン質量分析(Liquid Secondary Ion Mass Spectrometry:LSIMS)イオン源、電界イオン化(Field Ionization:FI)イオン源、電界脱離(Field Desorption:FD)イオン源が挙げられる。これ以外の連続イオン源や疑似連続イオン源を用いることもできる。] [0141] 一実施例において、質量分析計を、大気圧又は大気圧近傍の圧力レベルで動作させ、参照することにより本明細書に組み込まれるGB−2369722に開示される構成としてもよい。この実施例に従う質量分析計は、イオン源と遠心質量分離器とを備える。イオン源と遠心質量分離器の下流に質量分析器を配置する構成が望ましい。遠心質量分離器は、望ましくは、試料入口と乾燥ガス用入口とを有するチャンバを備える。少なくとも入口の一つが、チャンバに対して試料又は乾燥ガスを接線方向に注入可能な配置であることが望ましい。遠心力を利用して、チャンバ内で粒子を分類することが可能である。] [0142] 別の実施例において、質量分析計を、0.1ミリバール〜10ミリバールの範囲の圧力レベルで動作させ、参照することにより本明細書に組み込まれるWO2008/071967に開示される質量選択の原理を利用する構成としてもよい。この実施例に従う質量分析計は、時間的にイオンを分類するデバイスを備える。第1の動作モードでは、イオン移動度に従ってイオンが時間的に分類されるように、デバイスを配置および構成する。第2の動作モードでは、質量対電荷比に従ってイオンが分類されるようにデバイスを配置および構成する。] [0143] また別の実施例において、質量分析計を、参照することにより本明細書に組み込まれるWO2005/067000に開示されるデバイスを備える構成としてもよい。この実施例では、イオンはガス体内部に供給される。ポンデロモーティブ・イオン捕獲ポテンシャルが通常は軸方向に沿って生成され、抽出領域からのイオンの抽出を防ぐ有効ポテンシャルを与えるように、他のポテンシャルが生成される構成が望ましい。ここで、望ましくは、イオンが有効ポテンシャル内に捕獲される。このデバイスが、さらに、所定の質量対電荷比又は所定のイオン移動度を有するイオンを選択的に抽出領域から抽出するデバイスを備える構成も望ましい。抽出領域からのイオンの抽出を防ぐという有効ポテンシャルの特性は、少なくとも部分的に、ポンデロモーティブ・イオン捕獲ポテンシャルの生成に起因する。] [0144] 別の実施例において、質量分析計が、参照することにより本明細書に組み込まれるWO2007/010272に開示されるデバイスを備える構成としてもよい。質量分析計は、望ましくは、複数の電極を有する質量選択的又は質量対電荷比選択的なイオントラップを備える。第1のマスフィルター又は質量分析器を、質量選択的又は質量対電荷比選択的なイオントラップの下流に配置する構成が望ましい。さらに、制御デバイスを備え、質量に応じて、又は、質量対電荷比に応じて、イオントラップからイオンを選択的に放出するように制御デバイスを配置および構成することが望ましい。また、イオントラップからのイオンの選択的な放出にほぼ同期させて、第1のマスフィルター又は質量分析器をスキャンするような制御デバイスの配置および構成も望ましい。] [0145] 別の実施例において、質量分析計を、0.1ミリバール未満の圧力レベルや10ミリバールより大きな圧力レベルで動作させる構成でもよい。] [0146] 複数の分離段をタンデムに配置する構成も可能である。たとえば、イオン源とイオンのサンプリング手段とを備える構成でもよい。質量分析計の上流側となるイオン移動度分光計又は分離器を、イオン源の下流に配置する構成も望ましい。また、イオン検出器を質量分析計の一部とする構成も望ましい。] [0147] 以上、本発明をその好適な実施例を参照して詳述したが、本発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、当業者には自明のことであるが、特許請求の範囲に記載される本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の形態および態様において実施することが可能である。]
权利要求:
請求項1 質量分析計であって、ガス電子増幅イオン検出器を備える、質量分析計。 請求項2 請求項1に記載の質量分析計であって、さらに、(a)前記イオン検出器を(i)1000ミリバール未満の値、(ii)100ミリバール未満の値、(iii)10ミリバール未満の値、(iv)1ミリバール未満の値、(v)0.1ミリバール未満の値、(vi)0.01ミリバール未満の値、(vii)0.001ミリバール未満の値、(viii)0.0001ミリバール未満の値、(ix)0.00001ミリバール未満の値、からなる群から選択される圧力に維持する、及び/又は、(b)前記イオン検出器を(i)1000ミリバールより大きい値、(ii)100ミリバールより大きい値、(iii)10ミリバールより大きい値、(iv)1ミリバールより大きい値、(v)0.1ミリバールより大きい値、(vi)0.01ミリバールより大きい値、(vii)0.001ミリバールより大きい値、(viii)0.0001ミリバールより大きい値、からなる群から選択される圧力における動作モードに維持する、及び/又は、(c)前記イオン検出器を(i)0.0001から0.001ミリバールの範囲の値、(ii)0.001から0.01ミリバールの範囲の値、(iii)0.01から0.1ミリバールの範囲の値、(iv)0.1から1ミリバールの範囲の値、(v)1から10ミリバールの範囲の値、(vi)10から100ミリバールの範囲の値、(vii)100から1000ミリバールの範囲の値、からなる群から選択される圧力における動作モードに維持する、ように配置および構成されるデバイスを備える、質量分析計。 請求項3 請求項1又は2に記載の質量分析計であって、前記イオン検出器は、(i)1eV未満の値、(ii)1から5eVの範囲の値、(iii)5から10eVの範囲の値、(iv)10から15eVの範囲の値、(v)15から20eVの範囲の値、(vi)20から25eVの範囲の値、(vii)25から30eVの範囲の値、(viii)30から35eVの範囲の値、(ix)35から40eVの範囲の値、(x)40から45eVの範囲の値、(xi)45から50eVの範囲の値、(xii)50から55eVの範囲の値、(xiii)55から60eVの範囲の値、(xiv)60から65eVの範囲の値、(xv)65から70eVの範囲の値、(xvi)70から75eVの範囲の値、(xvii)75から80eVの範囲の値、(xviii)80から85eVの範囲の値、(xix)85から90eVの範囲の値、(xx)90から95eVの範囲の値、(xxi)95から100eVの範囲の値、(xxii)100から105eVの範囲の値、(xxiii)105から110eVの範囲の値、(xxiv)110から115eVの範囲の値、(xxv)115から120eVの範囲の値、(xxvi)120から125eVの範囲の値、(xxvii)125から130eVの範囲の値、(xxviii)130から135eVの範囲の値、(xxix)135から140eVの範囲の値、(xxx)140から145eVの範囲の値、(xxxi)145から150eVの範囲の値、(xxxii)150から155eVの範囲の値、(xxxiii)155から160eVの範囲の値、(xxxiv)160から165eVの範囲の値、(xxxv)165から170eVの範囲の値、(xxxvi)170から175eVの範囲の値、(xxxvii)175から180eVの範囲の値、(xxxviii)180から185eVの範囲の値、(xxxix)185から190eVの範囲の値、(xl)190から195eVの範囲の値、(xli)195から200eVの範囲の値、(xlii)200eVより大きい値、からなる群から選択されるエネルギーを有するイオンを検出するように配置および構成される、質量分析計。 請求項4 請求項1、2、3のいずれかに記載の質量分析計であって、前記イオン検出器が、第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段を備える、質量分析計。 請求項5 請求項4に記載の質量分析計であって、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段の上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、又は、95から100%が、第1の表面層又は第1の被膜を備え、前記第1の表面層又は第1の被膜は、(i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、(ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、質量分析計。 請求項6 請求項1〜5のいずれかに記載の質量分析計であって、前記イオン検出器が、第2の箔層、第2の基板、又は、第2のガス電子増幅段を備える、質量分析計。 請求項7 請求項6に記載の質量分析計であって、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段の上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、又は、95から100%が、第2の表面層又は第2の被膜を備え、前記第2の表面層又は第2の被膜は、(i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、(ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、質量分析計。 請求項8 請求項1〜7のいずれかに記載の質量分析計であって、前記イオン検出器が、第3の箔層、第3の基板、又は、第3のガス電子増幅段を備える、質量分析計。 請求項9 請求項8に記載の質量分析計であって、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段の上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、又は、95から100%が、第3の表面層又は第3の被膜を備え、前記第3の表面層又は第3の被膜は、(i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、(ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、質量分析計。 請求項10 請求項1〜9のいずれかに記載の質量分析計であって、前記イオン検出器が、第4の箔層、第4の基板、又は、第4のガス電子増幅段を備える、質量分析計。 請求項11 請求項10に記載の質量分析計であって、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、又は、95から100%が、第4の表面層又は第4の被膜を備え、前記第4の表面層又は第4の被膜は、(i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、(ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、質量分析計。 請求項12 請求項4〜11のいずれかに記載の質量分析計であって、前記第1の表面層又は第1の被膜、及び/又は、前記第2の表面層又は第2の被膜、及び/又は、前記第3の表面層又は第3の被膜、及び/又は、前記第4の表面層又は第4の被膜は、(i)ヨウ化セシウム(CsI)と、(ii)テルル化セシウム(CsTe)と、(iii)αCH:N、非晶質炭素、又は、ダイヤモンド状炭素(DLC)と、(iv)銅と、(v)アルミニウムと、(vi)酸化マグネシウム(MgO)と、(vii)フッ化マグネシウム(MgF2)と、(viii)タングステンと、からなる群から選択される、質量分析計。 請求項13 請求項4〜12のいずれかに記載の質量分析計であって、(a)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段は、(i)カプトン(RTM)と、(ii)ポリテトラフルオロエチレンと、(iii)セラミックと、(iv)ガラスと、(v)プラスチック材料と、(vi)絶縁材料と、(vii)ポリマーシートと、からなる群から選択される物質から形成される、及び/又は、(b)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段は、(i)1μm未満の値、(ii)1から5μmの範囲の値、(iii)5から10μmの範囲の値、(iv)10から15μmの範囲の値、(v)15から20μmの範囲の値、(vi)20から25μmの範囲の値、(vii)25から30μmの範囲の値、(viii)30から35μmの範囲の値、(ix)35から40μmの範囲の値、(x)40から45μmの範囲の値、(xi)45から50μmの範囲の値、(xii)50から55μmの範囲の値、(xiii)55から60μmの範囲の値、(xiv)60から65μmの範囲の値、(xv)65から70μmの範囲の値、(xvi)70から75μmの範囲の値、(xvii)75から80μmの範囲の値、(xviii)80から85μmの範囲の値、(xix)85から90μmの範囲の値、(xx)90から95μmの範囲の値、(xxi)95から100μmの範囲の値、(xxii)100から200μmの範囲の値、(xxiii)200から300μmの範囲の値、(xxiv)300から400μmの範囲の値、(xxv)400から500μmの範囲の値、(xxvi)500から600μmの範囲の値、(xxvii)600から700μmの範囲の値、(xxviii)700から800μmの範囲の値、(xxix)800から900μmの範囲の値、(xxx)900から1000μmの範囲の値、(xxxi)1から2mmの範囲の値、(xxxii)2から3mmの範囲の値、(xxxiii)3から4mmの範囲の値、(xxxiv)4から5mmの範囲の値、(xxxv)5mmより大きい値、からなる群から選択される厚みを有する、及び/又は、(c)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面は、銅や他の金属又は導電性被膜又は層で被覆される、及び/又は、(d)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面は、(i)1μm未満の値、(ii)1から5μmの範囲の値、(iii)5から10μmの範囲の値、(iv)10から15μmの範囲の値、(v)15から20μmの範囲の値、(vi)20から25μmの範囲の値、(vii)25から30μmの範囲の値、(viii)30から35μmの範囲の値、(ix)35から40μmの範囲の値、(x)40から45μmの範囲の値、(xi)45から50μmの範囲の値、(xii)50μmより大きい値、からなる群から選択される厚みを有する銅や他の金属又は導電性被膜で被覆される、及び/又は、(e)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段は、(i)1μm未満の値、(ii)1から5μmの範囲の値、(iii)5から10μmの範囲の値、(iv)10から15μmの範囲の値、(v)15から20μmの範囲の値、(vi)20から25μmの範囲の値、(vii)25から30μmの範囲の値、(viii)30から35μmの範囲の値、(ix)35から40μmの範囲の値、(x)40から45μmの範囲の値、(xi)45から50μmの範囲の値、(xii)50から55μmの範囲の値、(xiii)55から60μmの範囲の値、(xiv)60から65μmの範囲の値、(xv)65から70μmの範囲の値、(xvi)70から75μmの範囲の値、(xvii)75から80μmの範囲の値、(xviii)80から85μmの範囲の値、(xix)85から90μmの範囲の値、(xx)90から95μmの範囲の値、(xxi)95から100μmの範囲の値、(xxii)100μmより大きい値、からなる群から選択される最大直径及び/又は最小直径を有する複数の孔を備える、及び/又は、(f)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段は、管状、円錐形、バイコニカル(双円錐形)、又は凹型の溝を有する複数の孔を備える、及び/又は、(g)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段は、(i)1μm未満の値、(ii)1から5μmの範囲の値、(iii)5から10μmの範囲の値、(iv)10から15μmの範囲の値、(v)15から20μmの範囲の値、(vi)20から25μmの範囲の値、(vii)25から30μmの範囲の値、(viii)30から35μmの範囲の値、(ix)35から40μmの範囲の値、(x)40から45μmの範囲の値、(xi)45から50μmの範囲の値、(xii)50から55μmの範囲の値、(xiii)55から60μmの範囲の値、(xiv)60から65μmの範囲の値、(xv)65から70μmの範囲の値、(xvi)70から75μmの範囲の値、(xvii)75から80μmの範囲の値、(xviii)80から85μmの範囲の値、(xix)85から90μmの範囲の値、(xx)90から95μmの範囲の値、(xxi)95から100μmの範囲の値、(xxii)100から110μmの範囲の値、(xxiii)110から120μmの範囲の値、(xxiv)120から130μmの範囲の値、(xxv)130から140μmの範囲の値、(xxvi)140から150μmの範囲の値、(xxvii)150から160μmの範囲の値、(xxviii)160から170μmの範囲の値、(xxix)170から180μmの範囲の値、(xxx)180から190μmの範囲の値、(xxxi)190から200μmの範囲の値、(xxxii)200μmより大きい値、からなる群から選択されるピッチを有する複数の孔を備える、及び/又は、(h)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段の上面と下面との間で電圧又は電位差が保持され、前記電圧又は電位差は、(i)50Vより小さい値、(ii)50から100Vの範囲の値、(iii)100から150Vの範囲の値、(iv)150から200Vの範囲の値、(v)200から250Vの範囲の値、(vi)250から300Vの範囲の値、(vii)300から350Vの範囲の値、(viii)350から400Vの範囲の値、(ix)400から450Vの範囲の値、(x)450から500Vの範囲の値、(xi)500から550Vの範囲の値、(xii)550から600Vの範囲の値、(xiii)600から650Vの範囲の値、(xiv)650から700Vの範囲の値、(xv)700から750Vの範囲の値、(xvi)750から800Vの範囲の値、(xvii)800から850Vの範囲の値、(xviii)850から900Vの範囲の値、(xix)900から950Vの範囲の値、(xx)950から1000Vの範囲の値、(xxi)1000Vより大きい値、からなる群から選択される、及び/又は、(i)前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段の上面と下面との間で電圧又は電位差が保持され、前記電圧又は電位差は、(i)50Vより小さい値、(ii)50から100Vの範囲の値、(iii)100から150Vの範囲の値、(iv)150から200Vの範囲の値、(v)200から250Vの範囲の値、(vi)250から300Vの範囲の値、(vii)300から350Vの範囲の値、(viii)350から400Vの範囲の値、(ix)400から450Vの範囲の値、(x)450から500Vの範囲の値、(xi)500から550Vの範囲の値、(xii)550から600Vの範囲の値、(xiii)600から650Vの範囲の値、(xiv)650から700Vの範囲の値、(xv)700から750Vの範囲の値、(xvi)750から800Vの範囲の値、(xvii)800から850Vの範囲の値、(xviii)850から900Vの範囲の値、(xix)900から950Vの範囲の値、(xx)950から1000Vの範囲の値、(xxi)1000Vより大きい値、からなる群から選択される、及び/又は、(j)前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段の上面と下面との間で電圧又は電位差が保持され、前記電圧又は電位差は、(i)50Vより小さい値、(ii)50から100Vの範囲の値、(iii)100から150Vの範囲の値、(iv)150から200Vの範囲の値、(v)200から250Vの範囲の値、(vi)250から300Vの範囲の値、(vii)300から350Vの範囲の値、(viii)350から400Vの範囲の値、(ix)400から450Vの範囲の値、(x)450から500Vの範囲の値、(xi)500から550Vの範囲の値、(xii)550から600Vの範囲の値、(xiii)600から650Vの範囲の値、(xiv)650から700Vの範囲の値、(xv)700から750Vの範囲の値、(xvi)750から800Vの範囲の値、(xvii)800から850Vの範囲の値、(xviii)850から900Vの範囲の値、(xix)900から950Vの範囲の値、(xx)950から1000Vの範囲の値、(xxi)1000Vより大きい値、からなる群から選択される、及び/又は、(k)前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段の上面と下面との間で電圧又は電位差が保持され、前記電圧又は電位差は、(i)50Vより小さい値、(ii)50から100Vの範囲の値、(iii)100から150Vの範囲の値、(iv)150から200Vの範囲の値、(v)200から250Vの範囲の値、(vi)250から300Vの範囲の値、(vii)300から350Vの範囲の値、(viii)350から400Vの範囲の値、(ix)400から450Vの範囲の値、(x)450から500Vの範囲の値、(xi)500から550Vの範囲の値、(xii)550から600Vの範囲の値、(xiii)600から650Vの範囲の値、(xiv)650から700Vの範囲の値、(xv)700から750Vの範囲の値、(xvi)750から800Vの範囲の値、(xvii)800から850Vの範囲の値、(xviii)850から900Vの範囲の値、(xix)900から950Vの範囲の値、(xx)950から1000Vの範囲の値、(xxi)1000Vより大きい値、からなる群から選択される、及び/又は、(l)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段における孔内に、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段における孔内に、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段における孔内に、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段における孔内に電界が保持され、前記電界が、(i)10kV/cmより小さい値、(ii)10から20kV/cmの範囲の値、(iii)20から30kV/cmの範囲の値、(iv)30から40kV/cmの範囲の値、(v)40から50kV/cmの範囲の値、(vi)50から60kV/cmの範囲の値、(vii)60から70kV/cmの範囲の値、(viii)70から80kV/cmの範囲の値、(ix)80から90kV/cmの範囲の値、(x)90から100kV/cmの範囲の値、(xi)100から150kV/cmの範囲の値、(xii)150から200kV/cmの範囲の値、(xiii)200から250kV/cmの範囲の値、(xiv)250から300kV/cmの範囲の値、(xv)300から350kV/cmの範囲の値、(xvi)350から400kV/cmの範囲の値、(xvii)400から450kV/cmの範囲の値、(xviii)450から500kV/cmの範囲の値、(xix)500kV/cmより大きい値、からなる群から選択される、及び/又は、(m)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段、及び/又は、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段、及び/又は、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段、及び/又は、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段の間の中心間距離が、(i)0.2mmより小さい値、(ii)0.2から0.4mmの範囲の値、(iii)0.4から0.6mmの範囲の値、(iv)0.6から0.8mmの範囲の値、(v)0.8から1.0mmの範囲の値、(vi)1.0から1.2mmの範囲の値、(vii)1.2から1.4mmの範囲の値、(viii)1.4から1.6mmの範囲の値、(ix)1.6から1.8mmの範囲の値、(x)1.8から2.0mmの範囲の値、(xi)2.0から2.2mmの範囲の値、(xii)2.2から2.4mmの範囲の値、(xiii)2.4から2.6mmの範囲の値、(xiv)2.6から2.8mmの範囲の値、(xv)2.8から3.0mmの範囲の値、(xvi)3.0から3.2mmの範囲の値、(xvii)3.2から3.4mmの範囲の値、(xviii)3.4から3.6mmの範囲の値、(xix)3.6から3.8mmの範囲の値、(xx)3.8から4.0mmの範囲の値、(xxi)4.0から4.2mmの範囲の値、(xxii)4.2から4.4mmの範囲の値、(xxiii)4.4から4.6mmの範囲の値、(xxiv)4.6から4.8mmの範囲の値、(xxv)4.8から5.0mmの範囲の値、(xxvi)5.0から6.0mmの範囲の値、(xxvii)6.0から7.0mmの範囲の値、(xxviii)7.0から8.0mmの範囲の値、(xxix)8.0から9.0mmの範囲の値、(xxx)9.0から10.0mmの範囲の値、(xxxi)10.0mmより大きい値、からなる群から選択される、及び/又は、(n)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段と、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段との間に電荷遮断メッシュ電極を備える、及び/又は、(o)前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段と、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段との間に電荷遮断メッシュ電極を備える、及び/又は、(p)前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段と、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段との間に電荷遮断メッシュ電極を備える、及び/又は、(q)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に、一つ以上のアノード及び/又は一つ以上のカソードを備える、及び/又は、(r)前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に、一つ以上のアノード及び/又は一つ以上のカソードを備える、及び/又は、(s)前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に、一つ以上のアノード及び/又は一つ以上のカソードを備える、及び/又は、(t)前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に、一つ以上のアノード及び/又は一つ以上のカソードを備える、質量分析計。 請求項14 請求項4〜13のいずれかに記載の質量分析計であって、前記イオン検出器は、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードを備え前記一つ以上の電極、対向電極、又はカソードは、(i)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段に隣接する、及び/又は、向き合う、及び/又は、対向する、及び/又は、(ii)前記イオン検出器のドリフト又は入力領域内である、及び/又は、(iii)被分析物陽イオン(カチオン)を受け取り、二次電子及び/又は二次陰イオン(アニオン)及び/又は二次陽イオン(カチオン)を放出する、ように構成される、質量分析計。 請求項15 請求項14に記載の質量分析計であって、前記一つ以上の電極、対向電極、又はカソードは、(i)一つ以上の平坦電極、及び/又は、(ii)一つ以上のグリッド電極又はメッシュ電極、及び/又は、(iii)使用時にイオン又は被分析物カチオンが透過可能な一つ以上の孔を有する一つ以上の電極を含む、質量分析計。 請求項16 請求項14又は15に記載の質量分析計であって、前記一つ以上の電極、対向電極、又はカソードの上面及び/又は下面の0から5%、5から10%、10から15%、15から20%、20から25%、25から30%、30から35%、35から40%、40から45%、45から50%、50から55%、55から60%、60から65%、65から70%、70から75%、75から80%、80から85%、85から90%、90から95%、95から100%が、表面層又は被覆を備え、前記表面層又は被覆は、(i)二次イオン及び/又は電子の収率を増大させるように配置および構成される、及び/又は、(ii)光子を受け取り、光電子を放出するように配置及び構成される光電陰極層である、質量分析計。 請求項17 請求項16に記載の質量分析計であって、前記表面被膜は、(i)ヨウ化セシウム(CsI)と、(ii)テルル化セシウム(CsTe)と、(iii)αCH:N、非晶質炭素、又は、ダイヤモンド状炭素(DLC)と、(iv)銅と、(v)アルミニウムと、(vi)酸化マグネシウム(MgO)と、(vii)フッ化マグネシウム(MgF2)と、(viii)タングステンと、からなる群から選択される、質量分析計。 請求項18 請求項14〜17のいずれかに記載の質量分析計であって、(i)前記一つ以上の電極、対向電極、又はカソードが、使用時に、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段の上面及び/又は下面に対して、負電位に保たれる、及び/又は、(ii)正電荷を持つ被分析物イオンが、使用時に、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段から離れる方向に加速され、かつ、前記一つ以上の電極、対向電極、又はカソードに近付く方向に加速される、及び/又は、(iii)正電荷を持つ被分析物イオンが、使用時に、前記一つ以上の電極、対向電極、又はカソードの表面に激突して、二次陰イオン(アニオン)及び/又は二次陽イオン(カチオン)及び/又は二次電子を生成する、及び/又は、(iv)二次陰イオン(アニオン)及び/又は二次陽イオン(カチオン)及び/又は二次電子の少なくとも一部が、使用時に、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段における一つ以上の孔を通って加速される、及び/又は、(v)前記一つ以上の電極、対向電極、又はカソードから放出される二次陰イオン(アニオン)及び/又は二次陽イオン(カチオン)及び/又は二次電子の少なくとも一部が、使用時に、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段の表面に激突して、さらに電子を生成する、及び/又は、(vi)負電荷を持つ被分析物イオンが、使用時に、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段における一つ以上の孔を通って加速される、及び/又は、(vii)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段の上面及び/又は下面上に配置される一つ以上のアノードに電子を向かわせることにより、複数の電子及び/又は光子が生成される、及び/又は、(viii)前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段の上面及び/又は下面上に配置される一つ以上のアノードに電子を向かわせることにより、複数の電子及び/又は光子が生成される、及び/又は、(ix)前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段の上面及び/又は下面上に配置される一つ以上のアノードに電子を向かわせることにより、複数の電子及び/又は光子が生成される、及び/又は、(x)前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段の上面及び/又は下面上に配置される一つ以上のアノードに電子を向かわせることにより、複数の電子及び/又は光子が生成される、及び/又は、(xi)前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段と、前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段との間に位置する電荷遮断メッシュ電極を、電子なだれにより生成された光子が通過する、及び/又は、(xii)前記第2の箔層、前記第2の基板、又は、前記第2のガス電子増幅段と、前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段との間に位置する電荷遮断メッシュ電極を、電子なだれにより生成された光子が通過する、及び/又は、(xiii)前記第3の箔層、前記第3の基板、又は、前記第3のガス電子増幅段と、前記第4の箔層、前記第4の基板、又は、前記第4のガス電子増幅段との間に位置する電荷遮断メッシュ電極を、電子なだれにより生成された光子が通過する、及び/又は、(xiv)正電荷を持つ被分析物イオンが、使用時に、(i)1mm/μsより小さい値、(ii)1から5mm/μsの範囲の値、(iii)5から10mm/μsの範囲の値、(iv)10から15mm/μsの範囲の値、(v)15から20mm/μsの範囲の値、(vi)20から25mm/μsの範囲の値、(vii)25から30mm/μsの範囲の値、(viii)30から35mm/μsの範囲の値、(ix)35から40mm/μsの範囲の値、(x)40から45mm/μsの範囲の値、(xi)45から50mm/μsの範囲の値、(xii)50から55mm/μsの範囲の値、(xiii)55から60mm/μsの範囲の値、(xiv)60から65mm/μsの範囲の値、(xv)65から70mm/μsの範囲の値、(xvi)70から75mm/μsの範囲の値、(xvii)75から80mm/μsの範囲の値、(xviii)80から85mm/μsの範囲の値、(xix)85から90mm/μsの範囲の値、(xx)90から95mm/μsの範囲の値、(xxi)95から100mm/μsの範囲の値、(xxii)100mm/μsより大きい値、からなる群から選択される速度で、前記一つ以上の電極、対向電極、又はカソードの表面に激突する、質量分析計。 請求項19 請求項1〜18のいずれかに記載の質量分析計であって、さらに、(i)一つ以上の読み出し電極、及び/又は、(ii)一つ以上の光電子増倍管(PMT)、及び/又は、(iii)一つ以上の電荷結合検出器(CCD)を備える、質量分析計。 請求項20 請求項1〜19のいずれかに記載の質量分析計であって、さらに、(a)イオン源であって、(i)エレクトロスプレーイオン化(Electrosprayionization:ESI)イオン源と、(ii)大気圧光イオン化(AtmosphericPressurePhotoIonization:APPI)イオン源と、(iii)大気圧化学イオン化(AtmosphericPressureChemicalIonization:APCI)イオン源と、(iv)マトリックス支援レーザー脱離イオン化(MatrixAssistedLaserDesorptionIonization:MALDI)イオン源と、(v)レーザー脱離イオン化(LaserDesorptionIonization:LDI)イオン源と、(vi)大気圧イオン化(AtmosphericPressureIonization:API)イオン源と、(vii)シリコンを用いた脱離イオン化(DesorptionIonizationonSilicon:DIOS)イオン源と、(viii)電子衝撃(ElectronImpact:EI)イオン源と、(ix)化学イオン化(ChemicalIonization:CI)イオン源と、(x)電界イオン化(FieldIonization:FI)イオン源と、(xi)電界脱離(FieldDesorption:FD)イオン源と、(xii)誘導結合プラズマ(InductivelyCoupledPlasma:ICP)イオン源と、(xiii)高速原子衝撃(FastAtomBombardment:FAB)イオン源と、(xiv)液体二次イオン質量分析(LiquidSecondaryIonMassSpectrometry:LSIMS)イオン源と、(xv)脱離エレクトロスプレーイオン化(DesorptionElectrosprayIonization:DESI)イオン源と、(xvi)ニッケル63放射性イオン源と、(xvii)大気圧マトリックス支援レーザー脱離イオン化イオン源と、(xviii)サーモスプレーイオン源と、(xix)大気圧サンプリング・グロー放電イオン化(AtmosphericSamplingGlowDischargeIonization:ASGDI)イオン源と、(xx)グロー放電(GlowDischarge:GD)イオン源と、からなる群から選択されるイオン源、及び/又は、(b)一つ以上の連続イオン源又はパルスイオン源、及び/又は、(c)一つ以上のイオンガイド、及び/又は、(d)一つ以上のイオン移動度分離装置及び/又は一つ以上の電界非対称性イオン移動度分光計装置、及び/又は、(e)一つ以上のイオントラップあるいは一つ以上のイオン捕獲領域、及び/又は、(f)一つ以上の衝突セル、フラグメンテーション(断片化)セル又は反応セルであって、(i)衝突誘起解離(CollisionalInducedDissociation:CID)フラグメンテーション装置と、(ii)表面誘起解離(SurfaceInducedDissociation:SID)フラグメンテーション装置と、(iii)電子移動解離(ElectronTransferDissociation:ETD)フラグメンテーション装置と、(iv)電子捕獲解離(ElectronCaptureDissociation:ECD)フラグメンテーション装置と、(v)電子衝突又は電子衝撃解離フラグメンテーション装置と、(vi)光誘起解離(PhotoInducedDissociation:PID)フラグメンテーション装置と、(vii)レーザー誘起解離フラグメンテーション装置と、(viii)赤外線誘起解離装置と、(ix)紫外線誘起解離装置と、(x)ノズル・スキマー・インターフェース・フラグメンテーション装置と、(xi)インソースフラグメンテーション装置と、(xii)インソース衝突誘起解離フラグメンテーション装置と、(xiii)熱源又は温度源フラグメンテーション装置と、(xiv)電場誘起フラグメンテーション装置と、(xv)磁場誘起フラグメンテーション装置と、(xvi)酵素消化又は酵素分解フラグメンテーション装置と、(xvii)イオン−イオン反応フラグメンテーション装置と、(xviii)イオン−分子反応フラグメンテーション装置と、(xix)イオン−原子反応フラグメンテーション装置と、(xx)イオン−準安定イオン反応フラグメンテーション装置と、(xxi)イオン−準安定分子反応フラグメンテーション装置と、(xxii)イオン−準安定原子反応フラグメンテーション装置と、(xxiii)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−イオン反応装置と、(xxiv)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−分子反応装置と、(xxv)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−原子反応装置と、(xxvi)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−準安定イオン反応装置と、(xxvii)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−準安定分子反応装置と、(xxviii)イオンの反応により付加イオン又はプロダクトイオンを形成するイオン−準安定原子反応装置と、(xxix)電子イオン化解離(ElectronIonizationDissociation:EID)フラグメンテーション装置と、からなる群から選択される一つ以上の衝突セル、フラグメンテーションセル又は反応セル、及び/又は、(g)質量分析器であって、(i)四重極質量分析器と、(ii)2次元又はリニア四重極質量分析器と、(iii)ポール(Paul)トラップ型又は3次元四重極質量分析器と、(iv)ペニング(Penning)トラップ型質量分析器と、(v)イオントラップ型質量分析器と、(vi)磁場型質量分析器と、(vii)飛行時間型質量分析器と、(viii)直交加速飛行時間型質量分析器と、(ix)線形加速飛行時間型質量分析器と、からなる群から選択される質量分析器、及び/又は、(h)一つ以上のエネルギー分析器又は静電エネルギー分析器、及び/又は、(i)一つ以上のイオン検出器、及び/又は、(j)一つ以上のマスフィルターであって、(i)四重極マスフィルターと、(ii)2次元又はリニア四重極イオントラップと、(iii)ポール(Paul)型又は3次元四重極イオントラップと、(iv)ペニング(Penning)型イオントラップと、(v)イオントラップと、(vi)磁場型マスフィルターと、(vii)飛行時間型マスフィルターと、(viii)ウィーン(Wein)フィルターと、からなる群から選択される一つ以上のマスフィルター、及び/又は、(k)ほぼ連続的なイオンビームをパルス状のイオンビームに変換するデバイス、を備える、質量分析計。 請求項21 請求項1〜20のいずれかに記載の質量分析計であって、さらに、C型トラップと、質量分析器と、を備え、第1動作モード下では、イオンは、前記C型トラップに導入された後、前記質量分析器に入射され、第2動作モード下では、イオンは、前記C型トラップに続いて、衝突セル、フラグメンテーションセル、若しくは、反応セル、又は、電子移動解離及び/又はプロトン移動反応装置に導入されて、少なくとも一部のイオンがフラグメントイオンに断片化され、及び/又は、少なくとも一部のイオンが反応してプロダクトイオンを生成し、前記フラグメントイオン及び/又は前記プロダクトイオンは、前記C型トラップに導入された後、前記質量分析器に入射される、質量分析計。 請求項22 請求項1〜21のいずれかに記載の質量分析計であって、前記イオン検出器が、(i)10未満の値、(ii)10から100の範囲の値、(iii)100から1000の範囲の値、(iv)103から104の範囲の値、(v)104から105の範囲の値、(vi)105から106の範囲の値、(vii)106から107の範囲の値、(viii)107より大きい値、からなる群から選択されるゲインを有する、質量分析計。 請求項23 質量分析方法であって、ガス電子増幅イオン検出器を用いて、イオンを検出する工程を備える、質量分析方法。 請求項24 装置であって、第1の複数の電極、及び/又は、第2の複数の電極を有するイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置を備えるイオン移動度分光計と、前記イオン移動度分光計から、及び/又は、前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置から出てくるイオンを検出するように配置及び構成されるガス電子増幅イオン検出器と、を備える装置。 請求項25 請求項24に記載の装置であって、(a)前記イオン移動度分光計は、イオン移動度に従ってイオンを時間的に分類するように構成される、及び/又は(b)前記イオン移動度分光計は、電界強度とイオン移動度の変化率に従ってイオンを時間的に分類するように配置および構成される電界非対称性イオン移動度分光計(FieldAsymmetricIonMobilitySpectrometer:FAIMS)を備える、及び/又は、(c)使用時に、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置内にバッファガス、反応ガス、又はフラグメンテーションガスを供給する、及び/又は、(d)前記イオン移動度分光計は、気相電気泳動装置を備える、及び/又は、(e)前記イオン移動度分光計は、ドリフト管と、前記ドリフト管の少なくとも一部に沿ってDC軸電圧勾配を維持する一つ以上の電極と、を備える、及び/又は、(f)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、一つ以上の多重極ロッドセットを備える、及び/又は、(g)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、一つ以上の四重極、六重極、八重極、又は、それ以上の多重極ロッドセットを備える、及び/又は、(h)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、一つ以上の四重極、六重極、八重極、又は、それ以上の多重極ロッドセットを備え、前記一つ以上の多重極ロッドセットは、軸方向にセグメント化され、複数の軸方向セグメントを備える、及び/又は、(i)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、少なくとも5個、10個、15個、20個、25個、30個、35個、40個、45個、50個、55個、60個、65個、70個、75個、80個、85個、90個、95個、又は100個の電極を備える、及び/又は、(j)前記第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%、及び/又は、前記第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、使用時にイオンを透過させる孔を備える、及び/又は、(k)前記第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%、及び/又は、前記第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ大きさ、又は、ほぼ同じ面積の孔を備える、及び/又は、(l)前記第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ第1の大きさ、又は、ほぼ同じ第1の面積の孔を備える、及び/又は、前記第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、第1の大きさとは異なるほぼ同じ第2の大きさ、又は、第1の面積とは異なるほぼ同じ第2の面積の孔を備える、及び/又は、(m)前記第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ第3の大きさ、又は、ほぼ同じ第3の面積の孔を備える、及び/又は、前記第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、第3の大きさとは異なるほぼ同じ第4の大きさ、又は、第3の面積とは異なるほぼ同じ第4の面積の孔を備える、及び/又は、(n)前記第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%、及び/又は、前記第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸に沿った方向に、次第に大きさ又は面積が大きくなる、及び/又は、小さくなる孔を備える、及び/又は、(o)前記第1の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%、及び/又は、前記第2の電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、(i)1.0mm以下、(ii)2.0mm以下、(iii)3.0mm以下、(iv)4.0mm以下、(v)5.0mm以下、(vi)6.0mm以下、(vii)7.0mm以下、(viii)8.0mm以下、(ix)9.0mm以下、(x)10.0mm以下、(xi)10.0mmより大きい値、からなる群から選択される内径又は寸法を有する孔を備える、及び/又は、(p)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、複数の平板電極又はメッシュ電極を備え、前記平板電極又はメッシュ電極の少なくとも一部は、使用時にイオンが移動する平面内に配置される、及び/又は、(q)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、複数の平板電極又はメッシュ電極を備え、前記平板電極又はメッシュ電極の少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%は、使用時にイオンが移動する平面内に配置される、及び/又は、(r)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、少なくとも2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個、15個、16個、17個、18個、19個、20個、又は21個以上の平板電極又はメッシュ電極を備える、及び/又は、(s)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、少なくとも2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個、15個、16個、17個、18個、19個、20個、又は21個以上の平板電極又はメッシュ電極を備え、前記平板電極又はメッシュ電極にAC電圧又はRF電圧を供給し、隣接する平板電極又はメッシュ電極には逆相のAC電圧又はRF電圧を供給する、及び/又は、(t)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、複数の軸方向セグメント、すなわち、少なくとも5個、10個、15個、20個、25個、30個、35個、40個、45個、50個、55個、60個、65個、70個、75個、80個、85個、90個、95個、又は100個の軸方向セグメントを備える、及び/又は、(u)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、さらに、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向長さの少なくとも一部に沿って、ほぼ一定のDC電圧勾配を保持するDC電圧手段を備える、装置。 請求項26 請求項24又は25に記載の装置であって、(a)前記第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%、及び/又は、前記第2の電極の少なくとも少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、ほぼ円形、矩形、正方形、又は楕円形の孔を備える、及び/又は、(b)前記第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ第1の大きさ、又は、ほぼ同じ第1の面積を有する孔を備え、及び/又は、前記第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、第1の大きさとは異なるほぼ同じ第2の大きさ、又は、第1の面積とは異なるほぼ同じ第2の面積を有する孔を備える、及び/又は、(c)前記第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、ほぼ同じ第3の大きさ、又は、ほぼ同じ第3の面積を有する孔を備え、及び/又は、前記第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、第3の大きさとは異なるほぼ同じ第4の大きさ、又は、第3の面積とは異なるほぼ同じ第4の面積を有する孔を備える、及び/又は、(d)前記第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%及び/又は前記第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸に沿った方向に、次第に大きさ又は面積が大きくなる、及び/又は、小さくなる孔を備える、及び/又は、(e)前記第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%及び/又は前記第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、(i)1.0mm以下、(ii)2.0mm以下、(iii)3.0mm以下、(iv)4.0mm以下、(v)5.0mm以下、(vi)6.0mm以下、(vii)7.0mm以下、(viii)8.0mm以下、(ix)9.0mm以下、(x)10.0mm以下、(xi)10.0mmより大きい値、からなる群から選択される内径又は寸法を有する孔を備える、及び/又は、(f)前記第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%及び/又は前記第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、(i)5mm以下、(ii)4.5mm以下、(iii)4mm以下、(iv)3.5mm以下、(v)3mm以下、(vi)2.5mm以下、(vii)2mm以下、(viii)1.5mm以下、(ix)1mm以下、(x)0.8mm以下、(xi)0.6mm以下、(xii)0.4mm以下、(xiii)0.2mm以下、(xiv)0.1mm以下、(xv)0.25mm以下、からなる群から選択される軸方向距離だけ互いに離れている、及び/又は、(g)前記第1の電極の少なくとも一部及び/又は前記第2の電極の少なくとも一部は孔を備え、隣接する電極間の中心間軸方向距離に対する前記孔の内径又は寸法の比は、(i)1.0未満の値、(ii)1.0から1.2の範囲の値、(iii)1.2から1.4の範囲の値、(iv)1.4から1.6の範囲の値、(v)1.6から1.8の範囲の値、(vi)1.8から2.0の範囲の値、(vii)2.0から2.2の範囲の値、(viii)2.2から2.4の範囲の値、(ix)2.4から2.6の範囲の値、(x)2.6から2.8の範囲の値、(xi)2.8から3.0の範囲の値、(xii)3.0から3.2の範囲の値、(xiii)3.2から3.4の範囲の値、(xiv)3.4から3.6の範囲の値、(xv)3.6から3.8の範囲の値、(xvi)3.8から4.0の範囲の値、(xvii)4.0から4.2の範囲の値、(xviii)4.2から4.4の範囲の値、(xix)4.4から4.6の範囲の値、(xx)4.6から4.8の範囲の値、(xxi)4.8から5.0の範囲の値、(xxii)5.0より大きい値、からなる群から選択される、及び/又は、(h)前記第1の電極の孔の内径及び/又は前記第2の電極の孔の内径は、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の長手方向の軸に沿って、少なくとも一回、次第に大きく、又は、次第に小さくなり、その後、次第に小さく、又は、次第に大きくなる、及び/又は、(i)前記第1の電極及び/又は前記第2の電極は、幾何学量を規定し、前記幾何学量は、(i)一つ以上の球体、(ii)一つ以上の扁平楕円体、(iii)一つ以上の扁長楕円体、(iv)一つ以上の楕円体、(v)一つ以上の三軸楕円体、からなる群から選択される、及び/又は、(j)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、(i)20mm未満の値、(ii)20から40mmの範囲の値、(iii)40から60mmの範囲の値、(iv)60から80mmの範囲の値、(v)80から100mmの範囲の値、(vi)100から120mmの範囲の値、(vii)120から140mmの範囲の値、(viii)140から160mmの範囲の値、(ix)160から180mmの範囲の値、(x)180から200mmの範囲の値、(xi)200mmより大きな値、からなる群から選択される長さを有する、及び/又は、(k)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、少なくとも(i)1個から10個の電極、(ii)10個から20個の電極、(iii)20個から30個の電極、(iv)30個から40個の電極、(v)40個から50個の電極、(vi)50個から60個の電極、(vii)60個から70個の電極、(viii)70個から80個の電極、(ix)80個から90個の電極、(x)90個から100個の電極、(xi)100個から110個の電極、(xii)110個から120個の電極、(xiii)120個から130個の電極、(xiv)130個から140個の電極、(xv)140個から150個の電極、(xvi)150個から160個の電極、(xvii)160個から170個の電極、(xviii)170個から180個の電極、(xix)180個から190個の電極、(xx)190個から200個の電極、および(xxi)200個以上の電極を備える、及び/又は、(l)前記第1の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%及び/又は前記第2の電極の少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%は、(i)5mm以下、(ii)4.5mm以下、(iii)4mm以下、(iv)3.5mm以下、(v)3mm以下、(vi)2.5mm以下、(vii)2mm以下、(viii)1.5mm以下、(ix)1mm以下、(x)0.8mm以下、(xi)0.6mm以下、(xii)0.4mm以下、(xiii)0.2mm以下、(xiv)0.1mm以下、(xv)0.25mm以下、からなる群から選択される厚み又は軸方向の長さを有する、及び/又は、(m)前記第1の電極及び/又は前記第2の電極のピッチ又は軸方向の距離は、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の長手方向の軸に沿って、少なくとも一回、次第に小さくなる、又は、次第に大きくなる、装置。 請求項27 請求項24、25、26のいずれかに記載の装置であって、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、さらに、(i)前記第1の電極及び/又は前記第2の電極に対して、及び/又は補助電極に対して、一つ以上のDC電圧を印加するデバイスであって、動作モードで、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも一部、もしくは、少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%に沿って、ほぼ一定のDC電圧勾配を保持するデバイス、及び/又は、(ii)前記第1の電極及び/又は前記第2の電極に対して、多相RF電圧を印加するデバイスであって、印加により、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも一部、もしくは、少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%に沿って、少なくとも一部のイオンを移動させるデバイス、を備える、装置。 請求項28 請求項24〜27の何れかに記載の装置であって、さらに、第1のRFデバイスであって、前記第1の電極の少なくとも一部及び/又は前記第2の電極の少なくとも一部に対して、第1の周波数および第1の振幅を有する第1のAC電圧又はRF電圧を印加することにより、使用時に、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置内部で径方向にイオンを閉じ込めるように配置および構成される第1のRFデバイスを備え、(a)前記第1の周波数は、(i)100kHz未満の値、(ii)100から200kHzの範囲の値、(iii)200から300kHzの範囲の値、(iv)300から400kHzの範囲の値、(v)400から500kHzの範囲の値、(vi)0.5から1.0MHzの範囲の値、(vii)1.0から1.5MHzの範囲の値、(viii)1.5から2.0MHzの範囲の値、(ix)2.0から2.5MHzの範囲の値、(x)2.5から3.0MHzの範囲の値、(xi)3.0から3.5MHzの範囲の値、(xii)3.5から4.0MHzの範囲の値、(xiii)4.0から4.5MHzの範囲の値、(xiv)4.5から5.0MHzの範囲の値、(xv)5.0から5.5MHzの範囲の値、(xvi)5.5から6.0MHzの範囲の値、(xvii)6.0から6.5MHzの範囲の値、(xviii)6.5から7.0MHzの範囲の値、(xix)7.0から7.5MHzの範囲の値、(xx)7.5から8.0MHzの範囲の値、(xxi)8.0から8.5MHzの範囲の値、(xxii)8.5から9.0MHzの範囲の値、(xxiii)9.0から9.5MHzの範囲の値、(xxiv)9.5から10.0MHzの範囲の値、(xxv)10.0MHzより大きい値、からなる群から選択される、及び/又は、(b)前記第1の振幅は、(i)50Vより小さいピークピーク値(peaktopeak)、(ii)50Vから100Vの範囲のピークピーク値、(iii)100Vから150Vの範囲のピークピーク値、(iv)150Vから200Vの範囲のピークピーク値、(v)200Vから250Vの範囲のピークピーク値、(vi)250Vから300Vの範囲のピークピーク値、(vii)300Vから350Vの範囲のピークピーク値、(viii)350Vから400Vの範囲のピークピーク値、(ix)400Vから450Vの範囲のピークピーク値、(x)450Vから500Vの範囲のピークピーク値、(xi)500Vより大きいピークピーク値、からなる群から選択される、及び/又は、(c)動作モードにおいて、前記第1の電極及び/又は前記第2の電極のうち隣接又は近接する電極に、逆位相の前記第1のAC電圧又はRF電圧を供給する、及び/又は、(d)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、1から10の電極群、10から20の電極群、20から30の電極群、30から40の電極群、40から50の電極群、50から60の電極群、60から70の電極群、70から80の電極群、80から90の電極群、90から100の電極群、又は、100より多い電極群を備え、各電極群には、少なくとも1個、2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個、15個、16個、17個、18個、19個、又は20個の電極が含まれ、各電極群の少なくとも1個、2個、3個、4個、5個、6個、7個、8個、9個、10個、11個、12個、13個、14個、15個、16個、17個、18個、19個、又は20個の電極に同一位相の前記第1のAC電圧又はRF電圧を供給する、装置。 請求項29 請求項28に記載の装置であって、さらに、期間t1にわたって、前記第1の振幅を、x1MHzだけ、漸次増大させる、漸次減少させる、漸次変化させる、スキャンする、直線的に増加させる、直線的に減少させる、段階的、漸進的若しくは他の方法で増大させる、又は、段階的、漸進的若しくは他の方法で減少させるように配置および構成されるデバイスを備え、ここで、x1は、(i)100kHz未満の値、(ii)100から200kHzの範囲の値、(iii)200から300kHzの範囲の値、(iv)300から400kHzの範囲の値、(v)400から500kHzの範囲の値、(vi)0.5から1.0MHzの範囲の値、(vii)1.0から1.5MHzの範囲の値、(viii)1.5から2.0MHzの範囲の値、(ix)2.0から2.5MHzの範囲の値、(x)2.5から3.0MHzの範囲の値、(xi)3.0から3.5MHzの範囲の値、(xii)3.5から4.0MHzの範囲の値、(xiii)4.0から4.5MHzの範囲の値、(xiv)4.5から5.0MHzの範囲の値、(xv)5.0から5.5MHzの範囲の値、(xvi)5.5から6.0MHzの範囲の値、(xvii)6.0から6.5MHzの範囲の値、(xviii)6.5から7.0MHzの範囲の値、(xix)7.0から7.5MHzの範囲の値、(xx)7.5から8.0MHzの範囲の値、(xxi)8.0から8.5MHzの範囲の値、(xxii)8.5から9.0MHzの範囲の値、(xxiii)9.0から9.5MHzの範囲の値、(xxiv)9.5から10.0MHzの範囲の値、(xxv)10.0MHzより大きい値、からなる群から選択され、t1は、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から10ミリ秒の範囲の値、(iii)10から20ミリ秒の範囲の値、(iv)20から30ミリ秒の範囲の値、(v)30から40ミリ秒の範囲の値、(vi)40から50ミリ秒の範囲の値、(vii)50から60ミリ秒の範囲の値、(viii)60から70ミリ秒の範囲の値、(ix)70から80ミリ秒の範囲の値、(x)80から90ミリ秒の範囲の値、(xi)90から100ミリ秒の範囲の値、(xii)100から200ミリ秒の範囲の値、(xiii)200から300ミリ秒の範囲の値、(xiv)300から400ミリ秒の範囲の値、(xv)400から500ミリ秒の範囲の値、(xvi)500から600ミリ秒の範囲の値、(xvii)600から700ミリ秒の範囲の値、(xviii)700から800ミリ秒の範囲の値、(xix)800から900ミリ秒の範囲の値、(xx)900から1000ミリ秒の範囲の値、(xxi)1から2秒の範囲の値、(xxii)2から3秒の範囲の値、(xxiii)3から4秒の範囲の値、(xxiv)4から5秒の範囲の値、および(xxv)5秒より長い値、からなる群から選択される、装置。 請求項30 請求項24〜29のいずれかに記載の装置であって、さらに、前記第1の電極及び/又は前記第2の電極に対して、第2の振幅、高さ、若しくは深さを有する一つ以上の過渡DC電圧若しくは電位、又は、一つ以上の過渡DC電圧波形若しくは電位波形を印加するデバイスであって、前記印加により、前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも一部、もしくは、少なくとも5%、10%、15%、20%、25%、30%、35%、40%、45%、50%、55%、60%、65%、70%、75%、80%、85%、90%、95%、又は100%に沿って、少なくとも一部のイオンを移動させるデバイスを備える、装置。 請求項31 請求項30記載の装置であって、さらに、期間t2にわたって、前記第2の振幅、高さ、又は深さを、x2ボルトだけ、変化させる、漸次増大させる、漸次減少させる、漸次変化させる、スキャンする、直線的に増加させる、直線的に減少させる、段階的、漸進的若しくは他の方法で増大させる、又は、段階的、漸進的若しくは他の方法で減少させるように配置および構成されるデバイスを備え、ここで、x2は、(i)50Vより小さいピークピーク値(peaktopeak)、(ii)50Vから100Vの範囲のピークピーク値、(iii)100Vから150Vの範囲のピークピーク値、(iv)150Vから200Vの範囲のピークピーク値、(v)200Vから250Vの範囲のピークピーク値、(vi)250Vから300Vの範囲のピークピーク値、(vii)300Vから350Vの範囲のピークピーク値、(viii)350Vから400Vの範囲のピークピーク値、(ix)400Vから450Vの範囲のピークピーク値、(x)450Vから500Vの範囲のピークピーク値、(xi)500Vより大きいピークピーク値、からなる群から選択され、t2は、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から10ミリ秒の範囲の値、(iii)10から20ミリ秒の範囲の値、(iv)20から30ミリ秒の範囲の値、(v)30から40ミリ秒の範囲の値、(vi)40から50ミリ秒の範囲の値、(vii)50から60ミリ秒の範囲の値、(viii)60から70ミリ秒の範囲の値、(ix)70から80ミリ秒の範囲の値、(x)80から90ミリ秒の範囲の値、(xi)90から100ミリ秒の範囲の値、(xii)100から200ミリ秒の範囲の値、(xiii)200から300ミリ秒の範囲の値、(xiv)300から400ミリ秒の範囲の値、(xv)400から500ミリ秒の範囲の値、(xvi)500から600ミリ秒の範囲の値、(xvii)600から700ミリ秒の範囲の値、(xviii)700から800ミリ秒の範囲の値、(xix)800から900ミリ秒の範囲の値、(xx)900から1000ミリ秒の範囲の値、(xxi)1から2秒の範囲の値、(xxii)2から3秒の範囲の値、(xxiii)3から4秒の範囲の値、(xxiv)4から5秒の範囲の値、および(xxv)5秒より長い値、からなる群から選択される、装置。 請求項32 請求項30又は31に記載の装置であって、さらに、期間t3にわたって、前記一つ以上の過渡DC電圧若しくは電位、又は、前記一つ以上の過渡DC電圧波形若しくは電位波形を前記第1の電極及び/又は前記電極に対して印加する速度すなわち変化率、又は、平行移動させる速度すなわち変化率をx3m/sだけ、変化させる、漸次増大させる、漸次減少させる、漸次変化させる、スキャンする、直線的に増加させる、直線的に減少させる、段階的、漸進的若しくは他の方法で増大させる、又は、段階的、漸進的若しくは他の方法で減少させるように配置および構成されるデバイスを備え、ここで、x3は、(i)1未満の値、(ii)1から2の範囲の値、(iii)2から3の範囲の値、(iv)3から4の範囲の値、(v)4から5の範囲の値、(vi)5から6の範囲の値、(vii)6から7の範囲の値、(viii)7から8の範囲の値、(ix)8から9の範囲の値、(x)9から10の範囲の値、(xi)10から11の範囲の値、(xii)11から12の範囲の値、(xiii)12から13の範囲の値、(xiv)13から14の範囲の値、(xv)14から15の範囲の値、(xvi)15から16の範囲の値、(xvii)16から17の範囲の値、(xviii)17から18の範囲の値、(xix)18から19の範囲の値、(xx)19から20の範囲の値、(xxi)20から30の範囲の値、(xxii)30から40の範囲の値、(xxiii)40から50の範囲の値、(xxiv)50から60の範囲の値、(xxv)60から70の範囲の値、(xxvi)70から80の範囲の値、(xxvii)80から90の範囲の値、(xxviii)90から100の範囲の値、(xxix)100から150の範囲の値、(xxx)150から200の範囲の値、(xxxi)200から250の範囲の値、(xxxii)250から300の範囲の値、(xxxiii)300から350の範囲の値、(xxxiv)350から400の範囲の値、(xxxv)400から450の範囲の値、(xxxvi)450から500の範囲の値、(xxxvii)500から600の範囲の値、(xxxviii)600から700の範囲の値、(xxxix)700から800の範囲の値、(xl)800から900の範囲の値、(xli)900から1000の範囲の値、(xlii)1000から2000の範囲の値、(xliii)2000から3000の範囲の値、(xliv)3000から4000の範囲の値、(xlv)4000から5000の範囲の値、(xlvi)5000から6000の範囲の値、(xlvii)6000から7000の範囲の値、(xlviii)7000から8000の範囲の値、(xlix)8000から9000の範囲の値、(l)9000から10000の範囲の値、(li)10000より大きい値、からなる群から選択され、t3は、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から10ミリ秒の範囲の値、(iii)10から20ミリ秒の範囲の値、(iv)20から30ミリ秒の範囲の値、(v)30から40ミリ秒の範囲の値、(vi)40から50ミリ秒の範囲の値、(vii)50から60ミリ秒の範囲の値、(viii)60から70ミリ秒の範囲の値、(ix)70から80ミリ秒の範囲の値、(x)80から90ミリ秒の範囲の値、(xi)90から100ミリ秒の範囲の値、(xii)100から200ミリ秒の範囲の値、(xiii)200から300ミリ秒の範囲の値、(xiv)300から400ミリ秒の範囲の値、(xv)400から500ミリ秒の範囲の値、(xvi)500から600ミリ秒の範囲の値、(xvii)600から700ミリ秒の範囲の値、(xviii)700から800ミリ秒の範囲の値、(xix)800から900ミリ秒の範囲の値、(xx)900から1000ミリ秒の範囲の値、(xxi)1から2秒の範囲の値、(xxii)2から3秒の範囲の値、(xxiii)3から4秒の範囲の値、(xxiv)4から5秒の範囲の値、および(xxv)5秒より長い値、からなる群から選択される、装置。 請求項33 請求項24〜32のいずれかに記載の装置であって、さらに、(i)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%に沿って、線形軸方向DC電場を形成する、又は、(ii)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置の軸方向の長さの少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%に沿って、非線形又は段階式軸方向DC電場を形成する、ように配置および構成されるデバイスを備える、装置。 請求項34 請求項24〜33のいずれかに記載の装置であって、(a)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置を通過するイオンの少なくとも1%、5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%、70%、80%、90%、95%、又は100%の滞留時間、走行時間、又は反応時間が、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から5ミリ秒の範囲の値、(iii)5から10ミリ秒の範囲の値、(iv)10から15ミリ秒の範囲の値、(v)15から20ミリ秒の範囲の値、(vi)20から25ミリ秒の範囲の値、(vii)25から30ミリ秒の範囲の値、(viii)30から35ミリ秒の範囲の値、(ix)35から40ミリ秒の範囲の値、(x)40から45ミリ秒の範囲の値、(xi)45から50ミリ秒の範囲の値、(xii)50から55ミリ秒の範囲の値、(xiii)55から60ミリ秒の範囲の値、(xiv)60から65ミリ秒の範囲の値、(xv)65から70ミリ秒の範囲の値、(xvi)70から75ミリ秒の範囲の値、(xvii)75から80ミリ秒の範囲の値、(xviii)80から85ミリ秒の範囲の値、(xix)85から90ミリ秒の範囲の値、(xx)90から95ミリ秒の範囲の値、(xxi)95から100ミリ秒の範囲の値、(xxii)100から105ミリ秒の範囲の値、(xxiii)105から110ミリ秒の範囲の値、(xxiv)110から115ミリ秒の範囲の値、(xxv)115から120ミリ秒の範囲の値、(xxvi)120から125ミリ秒の範囲の値、(xxvii)125から130ミリ秒の範囲の値、(xxviii)130から135ミリ秒の範囲の値、(xxix)135から140ミリ秒の範囲の値、(xxx)140から145ミリ秒の範囲の値、(xxxi)145から150ミリ秒の範囲の値、(xxxii)150から155ミリ秒の範囲の値、(xxxiii)155から160ミリ秒の範囲の値、(xxxiv)160から165ミリ秒の範囲の値、(xxxv)165から170ミリ秒の範囲の値、(xxxvi)170から175ミリ秒の範囲の値、(xxxvii)175から180ミリ秒の範囲の値、(xxxviii)180から185ミリ秒の範囲の値、(xxxix)185から190ミリ秒の範囲の値、(xl)190から195ミリ秒の範囲の値、(xli)195から200ミリ秒の範囲の値、(xlii)200ミリ秒より長い値、からなる群から選択される、及び/又は、(b)前記イオン移動度分光計及び/又は前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置は、(i)1ミリ秒より短い値、(ii)1から10ミリ秒の範囲の値、(iii)10から20ミリ秒の範囲の値、(iv)20から30ミリ秒の範囲の値、(v)30から40ミリ秒の範囲の値、(vi)40から50ミリ秒の範囲の値、(vii)50から60ミリ秒の範囲の値、(viii)60から70ミリ秒の範囲の値、(ix)70から80ミリ秒の範囲の値、(x)80から90ミリ秒の範囲の値、(xi)90から100ミリ秒の範囲の値、(xii)100から200ミリ秒の範囲の値、(xiii)200から300ミリ秒の範囲の値、(xiv)300から400ミリ秒の範囲の値、(xv)400から500ミリ秒の範囲の値、(xvi)500から600ミリ秒の範囲の値、(xvii)600から700ミリ秒の範囲の値、(xviii)700から800ミリ秒の範囲の値、(xix)800から900ミリ秒の範囲の値、(xx)900から1000ミリ秒の範囲の値、(xxi)1から2秒の範囲の値、(xxii)2から3秒の範囲の値、(xxiii)3から4秒の範囲の値、(xxiv)4から5秒の範囲の値、および(xxv)5秒より長い値、からなる群から選択されるサイクルタイムを有する、装置。 請求項35 イオン移動度分光計用のイオン検出器であって、前記イオン検出器が、ガス電子増幅イオン検出器を備える、イオン検出器。 請求項36 イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置用のイオン検出器であって、前記イオン検出器が、ガス電子増幅イオン検出器を備える、イオン検出器。 請求項37 質量分析器用のイオン検出器であって、前記イオン検出器が、ガス電子増幅イオン検出器を備える、イオン検出器。 請求項38 請求項35、36、37のいずれかに記載のイオン検出器であって、前記イオン検出器が、少なくとも第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段と、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段に隣接して配置される、及び/又は、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段に対向して配置される、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードと、を備えるイオン検出器。 請求項39 イオンの検出方法であって、イオンをイオン移動度分光計に通す工程と、前記イオン移動度分光計から出てくるイオンの少なくとも一部を、ガス電子増幅イオン検出器を用いて検出する工程と、を備えるイオンの検出方法。 請求項40 イオンの検出方法であって、イオンをイオンフラグメンテーション又はイオン反応装置に通す工程と、前記イオンフラグメンテーション又はイオン反応装置から出てくるイオンの少なくとも一部を、ガス電子増幅イオン検出器を用いて検出する工程と、を備えるイオンの検出方法。 請求項41 イオンの検出方法であって、質量分析器でイオンの質量分析を行う工程と、前記質量分析器内のイオンの少なくとも一部を、ガス電子増幅イオン検出器を用いて検出する工程と、を備えるイオンの検出方法。 請求項42 請求項39、40、41のいずれかに記載の方法であって、さらに、少なくとも第1の箔層、第1の基板、又は、第1のガス電子増幅段と、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段に隣接して配置される、及び/又は、前記第1の箔層、前記第1の基板、又は、前記第1のガス電子増幅段に対向して配置される、一つ以上の電極、対向電極、又はカソードと、を備えるイオン検出器を準備する工程を備える方法。
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